ऑक्सिडेशन आणि डिफ्यूजन फर्नेस

ऑक्सिडेशन आणि डिफ्यूजन फर्नेसेसचा वापर सेमीकंडक्टर उपकरणे, स्वतंत्र उपकरणे, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणे, पॉवर इलेक्ट्रॉनिक उपकरणे, सौर पेशी आणि मोठ्या प्रमाणात एकात्मिक सर्किट निर्मिती यांसारख्या विविध क्षेत्रात केला जातो. ते प्रसरण, ऑक्सिडेशन, ॲनिलिंग, मिश्र धातु आणि वेफर्सचे सिंटरिंग यासह प्रक्रियांसाठी वापरले जातात.

VeTek सेमीकंडक्टर ही ऑक्सिडेशन आणि डिफ्यूजन फर्नेसमध्ये उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट, सिलिकॉन कार्बाइड आणि क्वार्ट्ज घटकांच्या उत्पादनात विशेष असणारी आघाडीची उत्पादक आहे. आम्ही सेमीकंडक्टर आणि फोटोव्होल्टेइक उद्योगांसाठी उच्च-गुणवत्तेचे फर्नेस घटक प्रदान करण्यासाठी वचनबद्ध आहोत आणि CVD-SiC, CVD-TaC, पायरोकार्बन इत्यादी सारख्या पृष्ठभागाच्या कोटिंग तंत्रज्ञानामध्ये आघाडीवर आहोत.

VeTek सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाइड घटकांचे फायदे:

उच्च तापमान प्रतिकार (1600℃ पर्यंत)

उत्कृष्ट थर्मल चालकता आणि थर्मल स्थिरता

चांगला रासायनिक गंज प्रतिकार

थर्मल विस्तार कमी गुणांक

उच्च शक्ती आणि कडकपणा

दीर्घ सेवा जीवन

ऑक्सिडेशन आणि डिफ्यूजन फर्नेसमध्ये, उच्च तापमान आणि संक्षारक वायूंच्या उपस्थितीमुळे, अनेक घटकांना उच्च-तापमान आणि गंज-प्रतिरोधक सामग्री वापरण्याची आवश्यकता असते, त्यापैकी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) ही सामान्यतः वापरली जाणारी निवड आहे. ऑक्सिडेशन फर्नेस आणि डिफ्यूजन फर्नेसमध्ये आढळणारे सामान्य सिलिकॉन कार्बाइड घटक खालीलप्रमाणे आहेत:

वेफर बोट

सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट हे सिलिकॉन वेफर्स वाहून नेण्यासाठी वापरले जाणारे कंटेनर आहे, जे उच्च तापमानाला तोंड देऊ शकते आणि सिलिकॉन वेफर्सवर प्रतिक्रिया देत नाही.

फर्नेस ट्यूब

फर्नेस ट्यूब हा डिफ्यूजन फर्नेसचा मुख्य घटक आहे, ज्याचा वापर सिलिकॉन वेफर्स सामावून घेण्यासाठी आणि प्रतिक्रिया वातावरण नियंत्रित करण्यासाठी केला जातो. सिलिकॉन कार्बाइड फर्नेस ट्यूब्समध्ये उत्कृष्ट उच्च-तापमान आणि गंज प्रतिरोधक कार्यक्षमता असते.

बाफली प्लेट

भट्टीच्या आत वायु प्रवाह आणि तापमान वितरणाचे नियमन करण्यासाठी वापरले जाते

थर्मोकूपल संरक्षण ट्यूब

संक्षारक वायूंच्या थेट संपर्कापासून तापमान मोजणाऱ्या थर्मोकपल्सचे संरक्षण करण्यासाठी वापरले जाते.

कॅन्टिलिव्हर पॅडल

सिलिकॉन कार्बाइड कॅन्टीलिव्हर पॅडल्स उच्च तापमान आणि गंजांना प्रतिरोधक असतात आणि सिलिकॉन बोट्स किंवा सिलिकॉन वेफर्स वाहून नेणाऱ्या क्वार्ट्ज बोट्स डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूबमध्ये नेण्यासाठी वापरले जातात.

गॅस इंजेक्टर

भट्टीमध्ये प्रतिक्रिया वायूचा परिचय करण्यासाठी वापरला जातो, तो उच्च तापमान आणि गंजला प्रतिरोधक असणे आवश्यक आहे.

बोट वाहक

सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट वाहक सिलिकॉन वेफर्सचे निराकरण आणि समर्थन करण्यासाठी वापरले जाते, ज्याचे फायदे जसे की उच्च शक्ती, गंज प्रतिकार आणि चांगली संरचनात्मक स्थिरता आहे.

भट्टीचा दरवाजा

सिलिकॉन कार्बाइड लेप किंवा घटक भट्टीच्या दरवाजाच्या आतील बाजूस देखील वापरले जाऊ शकतात.

हीटिंग एलिमेंट

सिलिकॉन कार्बाइड हीटिंग एलिमेंट्स उच्च तापमानासाठी, उच्च शक्तीसाठी योग्य आहेत आणि त्वरीत तापमान 1000℃ पर्यंत वाढवू शकतात.

SiC लाइनर

भट्टीच्या नळ्यांच्या आतील भिंतीचे संरक्षण करण्यासाठी वापरल्या जाणाऱ्या, ते उष्णतेच्या ऊर्जेचे नुकसान कमी करण्यास आणि उच्च तापमान आणि उच्च दाब यांसारख्या कठोर वातावरणाचा सामना करण्यास मदत करू शकते.

View as

सिलिकॉन पेडेस्टल

VeTek सेमीकंडक्टर सिलिकॉन पेडेस्टल हा सेमीकंडक्टर डिफ्यूजन आणि ऑक्सिडेशन प्रक्रियेतील प्रमुख घटक आहे. उच्च-तापमान भट्टीमध्ये सिलिकॉन बोटी वाहून नेण्यासाठी एक समर्पित व्यासपीठ म्हणून, सिलिकॉन पेडेस्टलमध्ये सुधारित तापमान एकसमानता, ऑप्टिमाइझ वेफर गुणवत्ता आणि सेमीकंडक्टर उपकरणांची वर्धित कार्यक्षमता यासह अनेक अद्वितीय फायदे आहेत. अधिक उत्पादन माहितीसाठी, कृपया आमच्याशी संपर्क साधा.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

एसआयसी सिरेमिक सील रिंग

चीनमध्ये मोठ्या प्रमाणात फॅक्टरी आणि एसआयसी सिरेमिक सील रिंग उत्पादनांचा पुरवठादार म्हणून, वेटेक सेमीकंडक्टर एसआयसी सिरेमिक सील रिंगमध्ये उत्कृष्ट थर्मल चालकता, थकबाकी रासायनिक आणि गंज प्रतिकार आणि उच्च सामर्थ्य आणि कडकपणा यामुळे औद्योगिक क्षेत्रात विस्तृत अनुप्रयोग आहेत. आपल्या पुढील चौकशीचे स्वागत आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

एसआयसी डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूब

चीनमध्ये डिफ्यूजन फर्नेस उपकरणांचे अग्रगण्य निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून, वेटेक सेमीकंडक्टर एसआयसी डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूबमध्ये लक्षणीय उच्च वाकणे सामर्थ्य आहे, ऑक्सिडेशनला उत्कृष्ट प्रतिकार, गंज प्रतिरोध, उच्च पोशाख प्रतिरोध आणि उत्कृष्ट उच्च-तापमान यांत्रिक गुणधर्म आहेत. हे डिफ्यूजन फर्नेस अनुप्रयोगांमध्ये एक अपरिहार्य उपकरणे सामग्री बनविणे. वेटेक सेमीकंडक्टर उच्च-गुणवत्तेच्या एसआयसी डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूबचे उत्पादन आणि पुरवठा करण्यास वचनबद्ध आहे आणि आपल्या पुढील चौकशीचे स्वागत करते.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

उच्च शुद्धता SiC वेफर बोट वाहक

VeTek सेमीकंडक्टर सानुकूलित उच्च शुद्धता SiC वेफर बोट कॅरियर ऑफर करते. उच्च शुद्धतेच्या सिलिकॉन कार्बाइडने बनविलेले, त्यात वेफरला जागोजागी ठेवण्यासाठी स्लॉट आहेत, प्रक्रियेदरम्यान ते सरकण्यापासून प्रतिबंधित करते. आवश्यक असल्यास CVD SiC कोटिंग देखील उपलब्ध आहे. एक व्यावसायिक आणि मजबूत सेमीकंडक्टर निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून, VeTek सेमीकंडक्टरची उच्च शुद्धता SiC वेफर बोट वाहक किंमत स्पर्धात्मक आणि उच्च दर्जाची आहे. VeTek Semiconductor चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी उत्सुक आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

उच्च शुद्धता sic कॅन्टिलिव्हर पॅडल

वेटेक सेमीकंडक्टर हे चीनमधील उच्च शुद्धता एसआयसी कॅन्टिलिव्हर पॅडल उत्पादनाचे अग्रगण्य निर्माता आणि पुरवठादार आहे. उच्च शुद्धता एसआयसी कॅन्टिलिव्हर पॅडल्स सामान्यत: सेमीकंडक्टर डिफ्यूजन फर्नेसेसमध्ये वेफर ट्रान्सफर किंवा लोडिंग प्लॅटफॉर्म म्हणून वापरले जातात.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

अनुलंब स्तंभ वेफर बोट आणि पॅडस्टल

वेटेक सेमीकंडक्टरचा अनुलंब स्तंभ वेफर बोट आणि पेडेस्टल उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज किंवा सिलिकॉन कार्बन सिरेमिक (एसआयसी) सामग्रीचे बनलेले आहे, ज्यात उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, रासायनिक स्थिरता आणि यांत्रिक सामर्थ्य आहे आणि अर्धसंवाहक उत्पादन प्रक्रियेतील एक अपरिहार्य कोर घटक आहे. आपल्या पुढील सल्ल्याचे स्वागत आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

चीनमधील एक व्यावसायिक ऑक्सिडेशन आणि डिफ्यूजन फर्नेस निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून आमच्याकडे आमचा स्वतःचा कारखाना आहे. आपल्या प्रदेशाच्या विशिष्ट गरजा भागविण्यासाठी आपल्याला सानुकूलित सेवांची आवश्यकता असल्यास किंवा चीनमध्ये बनविलेले प्रगत आणि टिकाऊ {77 brook खरेदी करायचे असल्यास आपण आम्हाला एक संदेश सोडू शकता.