ऑक्सिडेशन आणि डिफ्यूजन फर्नेस

ऑक्सिडेशन आणि डिफ्यूजन फर्नेसेस सेमीकंडक्टर डिव्हाइस, स्वतंत्र उपकरणे, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणे, पॉवर इलेक्ट्रॉनिक उपकरणे, सौर पेशी आणि मोठ्या प्रमाणात एकात्मिक सर्किट मॅन्युफॅक्चरिंग सारख्या विविध क्षेत्रात वापरली जातात. त्यांचा उपयोग प्रसार, ऑक्सिडेशन, ne नीलिंग, अ‍ॅलोयिंग आणि वेफर्सच्या सिन्टरिंगसह प्रक्रियेसाठी केला जातो.

ऑक्सिडेशन आणि डिफ्यूजन फर्नेसेसमध्ये उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट, सिलिकॉन कार्बाईड आणि क्वार्ट्ज घटकांच्या निर्मितीमध्ये तज्ञ असलेले वेटेक सेमीकंडक्टर एक अग्रगण्य निर्माता आहे. आम्ही सेमीकंडक्टर आणि फोटोव्होल्टिक उद्योगांसाठी उच्च-गुणवत्तेचे भट्टी घटक प्रदान करण्यास वचनबद्ध आहोत आणि सीव्हीडी-एसआयसी, सीव्हीडी-टॅक, पायरोकार्बन इत्यादी पृष्ठभागाच्या कोटिंग तंत्रज्ञानामध्ये आघाडीवर आहोत.

वेटेक सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाईड घटकांचे फायदे:

● उच्च तापमान प्रतिकार (1600 पर्यंत ℃)

● उत्कृष्ट थर्मल चालकता आणि थर्मल स्थिरता

● चांगले रासायनिक गंज प्रतिकार

Ther थर्मल विस्ताराचे कमी गुणांक

● उच्च सामर्थ्य आणि कठोरता

● लांब सेवा जीवन

ऑक्सिडेशन आणि डिफ्यूजन फर्नेसेसमध्ये, उच्च तापमान आणि संक्षारक वायूंच्या उपस्थितीमुळे, बर्‍याच घटकांना उच्च-तापमान आणि गंज-प्रतिरोधक सामग्रीचा वापर आवश्यक आहे, त्यापैकी सिलिकॉन कार्बाईड (एसआयसी) ही सामान्यतः वापरली जाणारी निवड आहे. खाली ऑक्सिडेशन फर्नेसेस आणि डिफ्यूजन फर्नेसेसमध्ये आढळणारे सामान्य सिलिकॉन कार्बाईड घटक आहेत:

● वेफर बोट

सिलिकॉन कार्बाईड वेफर बोट एक कंटेनर आहे जो सिलिकॉन वेफर्स वाहून नेण्यासाठी वापरला जातो, जो उच्च तापमानाचा प्रतिकार करू शकतो आणि सिलिकॉन वेफर्ससह प्रतिक्रिया देणार नाही.

● फर्नेस ट्यूब

फर्नेस ट्यूब हा डिफ्यूजन फर्नेसचा मुख्य घटक आहे, जो सिलिकॉन वेफर्सला सामावून घेण्यासाठी आणि प्रतिक्रिया वातावरण नियंत्रित करण्यासाठी वापरला जातो. सिलिकॉन कार्बाईड फर्नेस ट्यूबमध्ये उत्कृष्ट उच्च-तापमान आणि गंज प्रतिकार कामगिरी आहे.

● बाफल प्लेट

भट्टीच्या आत एअरफ्लो आणि तापमान वितरण नियमित करण्यासाठी वापरले जाते

● थर्माकोपल प्रोटेक्शन ट्यूब

तापमान मोजण्यासाठी थर्माकोपल्सचे संक्षारक वायूंच्या थेट संपर्कापासून संरक्षण करण्यासाठी वापरले जाते.

● कॅन्टिलिव्हर पॅडल

सिलिकॉन कार्बाईड कॅन्टिलिव्हर पॅडल्स उच्च तापमान आणि गंजला प्रतिरोधक असतात आणि सिलिकॉन बोटी किंवा सिलिकॉन वेफर्सला डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूबमध्ये वाहून नेणार्‍या क्वार्ट्ज बोटी वाहतूक करण्यासाठी वापरले जातात.

● गॅस इंजेक्टर

भट्टीमध्ये प्रतिक्रिया गॅसचा परिचय देण्यासाठी वापरला जातो, तो उच्च तापमान आणि गंजला प्रतिरोधक असणे आवश्यक आहे.

● बोट कॅरियर

सिलिकॉन कार्बाईड वेफर बोट कॅरियरचा वापर सिलिकॉन वेफर्सचे निराकरण आणि समर्थन करण्यासाठी केला जातो, ज्यात उच्च सामर्थ्य, गंज प्रतिकार आणि चांगली स्ट्रक्चरल स्थिरता यासारखे फायदे आहेत.

● भट्टीचा दरवाजा

सिलिकॉन कार्बाईड कोटिंग्ज किंवा घटक देखील भट्टीच्या दाराच्या आतील बाजूस वापरले जाऊ शकतात.

● हीटिंग घटक

सिलिकॉन कार्बाईड हीटिंग घटक उच्च तापमान, उच्च शक्तीसाठी योग्य आहेत आणि तापमान द्रुतपणे 1000 ℃ वर वाढवू शकतात.

● एसआयसी लाइनर

फर्नेस ट्यूबच्या आतील भिंतीचे संरक्षण करण्यासाठी वापरले जाते, यामुळे उष्णता उर्जेचे नुकसान कमी होण्यास मदत होते आणि उच्च तापमान आणि उच्च दाब यासारख्या कठोर वातावरणाचा सामना करण्यास मदत होते.

View as

SiC वेफर बोट

SiC वेफर बोट वेफर वाहून नेण्यासाठी वापरली जाते, मुख्यतः ऑक्सिडेशन आणि प्रसार प्रक्रियेसाठी, तापमान वेफरच्या पृष्ठभागावर समान रीतीने वितरित केले जाऊ शकते याची खात्री करण्यासाठी. उच्च तापमान स्थिरता आणि SiC सामग्रीची उच्च थर्मल चालकता कार्यक्षम आणि विश्वासार्ह सेमीकंडक्टर प्रक्रिया सुनिश्चित करते. वेटेक सेमीकंडक्टर स्पर्धात्मक किमतीत दर्जेदार उत्पादने देण्यासाठी वचनबद्ध आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

एसआयसी प्रक्रिया ट्यूब

VeTek सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उत्पादनासाठी उच्च-कार्यक्षमता असलेल्या SiC प्रक्रिया ट्यूब प्रदान करते. आमच्या SiC प्रक्रिया ट्यूब ऑक्सिडेशन, प्रसार प्रक्रियेत उत्कृष्ट आहेत. उत्कृष्ट गुणवत्ता आणि कारागिरीसह, या नळ्या कार्यक्षम सेमीकंडक्टर प्रक्रियेसाठी उच्च-तापमान स्थिरता आणि थर्मल चालकता देतात. आम्ही स्पर्धात्मक किंमत ऑफर करतो आणि चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार बनण्याचा प्रयत्न करतो.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

SiC Cantilever पॅडल

वेटेक सेमीकंडक्टरच्या एसआयसी कॅन्टिलिव्हर पॅडलचा वापर वेफर बोटी हाताळण्यासाठी आणि समर्थन देण्यासाठी उष्मा ट्रीटमेंट फर्नेसेसमध्ये केला जातो. उच्च तापमान स्थिरता आणि एसआयसी सामग्रीची उच्च थर्मल चालकता सेमीकंडक्टर प्रक्रियेमध्ये उच्च कार्यक्षमता आणि विश्वासार्हता सुनिश्चित करते. आम्ही स्पर्धात्मक किंमतींवर उच्च-गुणवत्तेची उत्पादने प्रदान करण्यास वचनबद्ध आहोत आणि चीनमधील आपला दीर्घकालीन भागीदार होण्यास उत्सुक आहोत.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

क्षैतिज भट्टीसाठी सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट

SiC वेफर बोटला भौतिक शुद्धतेची उच्च आवश्यकता आहे. व्हेटेक सेमीकंडक्टर या उत्पादनाला SiC शुद्धता पुरवठा ＞ 99.96% पुनर्क्रिस्टलीकृत SiC आहे. VeTek सेमीकंडक्टर हे चीनमधील सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोटसाठी एक व्यावसायिक निर्माता आणि पुरवठादार आहे जे क्षैतिज भट्टीसाठी आणि R&D सह अनेक वर्षांचा अनुभव आहे. उत्पादन, गुणवत्ता चांगले नियंत्रित करू शकते आणि ऑफर करू शकते स्पर्धात्मक किंमत. तुम्ही आमच्याकडून आडव्या भट्टीसाठी सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट खरेदी करण्यासाठी निश्चिंत राहू शकता.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

एसआयसी कोटेड सिलिकॉन कार्बाईड वेफर बोट

SiC कोटेड सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट वेफर्स वाहून नेण्यासाठी 165 स्लॉटसह डिझाइन केलेले आहे. VeTek सेमीकंडक्टर SiC कोटेड सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोटसाठी चीनमधील व्यावसायिक निर्माता आणि पुरवठादार आहे, ज्याला R&D आणि उत्पादनातील वर्षांचा अनुभव आहे, गुणवत्ता चांगल्या प्रकारे नियंत्रित करू शकते आणि स्पर्धात्मक ऑफर देऊ शकते. किंमत आमच्या कारखान्याला भेट दिल्याबद्दल स्वागत आहे आणि सहकार्यावर पुढील चर्चा करा.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

सिलिकॉन कार्बाईड कॅन्टिलिव्हर पॅडल

वेटेक सेमीकंडक्टरचा सिलिकॉन कार्बाईड कॅन्टिलिव्हर पॅडल हा सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेतील एक महत्त्वाचा घटक आहे, विशेषत: प्रसार आणि आरटीपी सारख्या उच्च-तापमान प्रक्रियेत डिफ्यूजन फर्नेसेस किंवा एलपीसीव्हीडी फर्नेसेससाठी योग्य. आमचे सिलिकॉन कार्बाईड कॅन्टिलिव्हर पॅडल काळजीपूर्वक डिझाइन केलेले आणि उत्कृष्ट उच्च-तापमान प्रतिरोध आणि यांत्रिक सामर्थ्याने तयार केले गेले आहे आणि प्रसार आणि आरटीपी सारख्या विविध उच्च-तापमान प्रक्रियेसाठी कठोर प्रक्रियेच्या परिस्थितीत प्रक्रिया ट्यूबमध्ये सुरक्षितपणे आणि विश्वासार्हपणे वेफर्स वाहतूक करू शकते. आम्ही चीनमधील आपला दीर्घकालीन भागीदार होण्यास उत्सुक आहोत. आम्हाला चौकशी करण्यासाठी मोकळे करा.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

चीनमधील एक व्यावसायिक ऑक्सिडेशन आणि डिफ्यूजन फर्नेस निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून आमच्याकडे आमचा स्वतःचा कारखाना आहे. आपल्या प्रदेशाच्या विशिष्ट गरजा भागविण्यासाठी आपल्याला सानुकूलित सेवांची आवश्यकता असल्यास किंवा चीनमध्ये बनविलेले प्रगत आणि टिकाऊ {77 brook खरेदी करायचे असल्यास आपण आम्हाला एक संदेश सोडू शकता.