एसआयसी लेपित खोल अतिनील एलईडी संवेदनशील

एसआयसी लेपित खोल अतिनील एलईडी स्यूससेप्टर हा कोर बेअरिंग घटक आहेएमओसीव्हीडी (मेटल सेंद्रिय रासायनिक वाष्प जमा) उपकरणे? संवेदनशीलता, एकसमानता, जाडी नियंत्रण आणि खोल अतिनील एलईडी एपिटॅक्सियल वाढीच्या भौतिक गुणवत्तेवर थेट परिणाम करते, विशेषत: उच्च अॅल्युमिनियम सामग्रीसह एल्युमिनियम नायट्राइड (एएलएन) एपिटॅक्सियल लेयरच्या वाढीमध्ये, सासेप्टरची रचना आणि कार्यक्षमता महत्त्वपूर्ण आहे.

एसआयसी लेपित डीप यूव्ही एलईडी सासेप्टर विशेषत: खोल अतिनील एलईडी एपिटॅक्सीसाठी अनुकूलित आहे आणि कठोर प्रक्रियेच्या आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी थर्मल, यांत्रिक आणि रासायनिक पर्यावरणीय वैशिष्ट्यांवर आधारित तंतोतंत डिझाइन केलेले आहे.

तापमान ग्रेडियंटमुळे होणा .्या एपिटॅक्सियल लेयरची एकसमान वाढ टाळता, ऑपरेटिंग तापमान श्रेणीतील संवेदनशील उष्णता वितरण सुनिश्चित करण्यासाठी वेटेक सेमीकंडक्टर प्रगत प्रक्रिया तंत्रज्ञानाचा वापर करते. अचूक प्रक्रिया पृष्ठभागावरील उग्रपणा नियंत्रित करते, कण दूषण कमी करते आणि वेफर पृष्ठभागाच्या संपर्काची थर्मल चालकता कार्यक्षमता सुधारते.

वेटेक सेमीकंडक्टर एसजीएल ग्रेफाइटचा वापर सामग्री म्हणून करतो आणि पृष्ठभागावर उपचार केला जातोसीव्हीडी एसआयसी कोटिंग, जे बर्‍याच काळासाठी एनएच 3, एचसीएल आणि उच्च तापमान वातावरणास प्रतिकार करू शकते. वेटेक सेमीकंडक्टरचा एसआयसी लेपित खोल यूव्ही एलईडी सिसेप्टर एएलएन/गॅन एपिटॅक्सियल वेफर्सच्या थर्मल एक्सपेंशन गुणांकांशी जुळतो, प्रक्रियेदरम्यान थर्मल तणावामुळे वेफर वॉर्पिंग किंवा क्रॅकिंग कमी करते.

सर्वात महत्त्वाचे म्हणजे, वेटेक सेमीकंडक्टरच्या एसआयसी लेपित खोल अतिनील एलईडी स्यूससेप्टरने मुख्य प्रवाहातील एमओसीव्हीडी उपकरणांमध्ये (वेइको के 465 आय, ईपीआयके 700, ixtron क्रियस इ. यासह) परिपूर्णपणे रुपांतर केले. वेफर आकार (2 ~ 8 इंच), वेफर स्लॉट डिझाइन, प्रक्रिया तापमान आणि इतर आवश्यकतांसाठी सानुकूलित सेवांचे समर्थन करते.

अनुप्रयोग परिदृश्य:

● खोल अतिनील एलईडी तयारी: 260 एनएम (यूव्ही-सी निर्जंतुकीकरण, निर्जंतुकीकरण आणि इतर फील्ड्स) खाली असलेल्या बँडमधील उपकरणांच्या एपिटॅक्सियल प्रक्रियेस लागू.

● नायट्राइड सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी: गॅलियम नायट्राइड (जीएएन) आणि अ‍ॅल्युमिनियम नायट्राइड (एएलएन) सारख्या सेमीकंडक्टर सामग्रीच्या एपिटॅक्सियल तयारीसाठी वापरले जाते.

● संशोधन-स्तरीय एपिटॅक्सियल प्रयोग: विद्यापीठे आणि संशोधन संस्थांमध्ये खोल अतिनील एपिटॅक्सी आणि नवीन भौतिक विकास प्रयोग.

मजबूत तांत्रिक कार्यसंघाच्या समर्थनासह, वेटेक सेमीकंडक्टर ग्राहकांच्या गरजेनुसार अद्वितीय वैशिष्ट्ये आणि कार्ये सह संवेदनशील विकसित करण्यास सक्षम आहे, विशिष्ट उत्पादन प्रक्रियेस समर्थन देते आणि दीर्घकालीन सेवा प्रदान करते.

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग फिल्मचा एसईएम डेटा:

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म:

हे सेमीकंडक्टरएसआयसी लेपित खोल अतिनील एलईडी स्यूससेप्टर प्रॉडक्ट शॉप्स: