SiC लेपित पेडेस्टल

SiC कोटेड ग्रेफाइट भागांच्या उत्पादनातील अनेक वर्षांच्या अनुभवासह, Vetek सेमीकंडक्टर SiC कोटेड पेडेस्टलची विस्तृत श्रेणी पुरवू शकतो. उच्च दर्जाचे SiC coated pedestal अनेक ऍप्लिकेशन्स पूर्ण करू शकते, जर तुम्हाला गरज असेल तर कृपया SiC coated pedestal बद्दल आमची ऑनलाइन सेवा वेळेवर मिळवा. खाली दिलेल्या उत्पादनांच्या सूचीव्यतिरिक्त, तुम्ही तुमच्या विशिष्ट गरजांनुसार तुमचा स्वतःचा अद्वितीय SiC कोटेड पेडेस्टल देखील सानुकूलित करू शकता.

MBE, LPE, PLD सारख्या इतर पद्धतींच्या तुलनेत, MOCVD पद्धतीमध्ये उच्च वाढ कार्यक्षमता, उत्तम नियंत्रण अचूकता आणि तुलनेने कमी खर्चाचे फायदे आहेत आणि सध्याच्या उद्योगात मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते. सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल सामग्रीच्या वाढत्या मागणीसह, विशेषत: विडसाठीई एलडी आणि एलईडी सारख्या ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक एपिटॅक्सियल मटेरियलची श्रेणी, उत्पादन क्षमता वाढविण्यासाठी आणि खर्च कमी करण्यासाठी नवीन उपकरणांच्या डिझाइनचा अवलंब करणे फार महत्वाचे आहे.

त्यापैकी, MOCVD एपिटॅक्सियल ग्रोथमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या सब्सट्रेटने लोड केलेला ग्रेफाइट ट्रे हा MOCVD उपकरणांचा एक अतिशय महत्त्वाचा भाग आहे. ग्रेफाइटवरील अमोनिया, हायड्रोजन आणि इतर वायूंचा क्षरण टाळण्यासाठी गट III नायट्राइड्सच्या एपिटॅक्सियल वाढीसाठी वापरल्या जाणाऱ्या ग्रेफाइट ट्रेवर, सामान्यतः ग्रेफाइट ट्रेच्या पृष्ठभागावर पातळ एकसमान सिलिकॉन कार्बाइड संरक्षक थर लावला जाईल. 

सामग्रीच्या एपिटॅक्सियल वाढीमध्ये, सिलिकॉन कार्बाइड संरक्षक स्तराची एकसमानता, सुसंगतता आणि थर्मल चालकता खूप जास्त आहे आणि त्याच्या जीवनासाठी काही आवश्यकता आहेत. वेटेक सेमीकंडक्टरचे SiC कोटेड पेडेस्टल ग्रेफाइट पॅलेटची उत्पादन किंमत कमी करते आणि त्यांचे सेवा जीवन सुधारते, ज्याचा MOCVD उपकरणांची किंमत कमी करण्यात मोठी भूमिका आहे. SiC कोटेड पेडेस्टल देखील MOCVD प्रतिक्रिया चेंबरचा एक महत्त्वाचा भाग आहे, जे उत्पादन कार्यक्षमता प्रभावीपणे सुधारते.

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म:

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म