SiC कोटिंग ग्रेफाइट MOCVD हीटर

MOCVD हे एक अचूक पातळ फिल्म ग्रोथ तंत्रज्ञान आहे जे सेमीकंडक्टर, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक आणि मायक्रोइलेक्ट्रॉनिक उपकरण निर्मितीमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते. MOCVD तंत्रज्ञानाद्वारे, उच्च-गुणवत्तेच्या सेमीकंडक्टर मटेरियल फिल्म्स सब्सट्रेट्सवर जमा केल्या जाऊ शकतात (जसे की सिलिकॉन, नीलम, सिलिकॉन कार्बाइड इ.).

एमओसीव्हीडी उपकरणांमध्ये, एसआयसी कोटिंग ग्रेफाइट एमओसीव्हीडी हीटर उच्च-तापमानाच्या प्रतिक्रिया चेंबरमध्ये एकसमान आणि स्थिर गरम वातावरण प्रदान करते, ज्यामुळे गॅस टप्प्यातील रासायनिक प्रतिक्रिया पुढे जाऊ शकते, ज्यामुळे सब्सट्रेट पृष्ठभागावर इच्छित पातळ फिल्म जमा होईल.

वेटेक सेमीकंडक्टरचे एसआयसी कोटिंग ग्रेफाइट एमओसीव्हीडी हीटर एसआयसी कोटिंगसह उच्च दर्जाचे ग्रेफाइट मटेरियलचे बनलेले आहे. एसआयसी लेपित ग्रेफाइट एमओसीव्हीडी हीटर प्रतिकार गरम करण्याच्या तत्त्वाद्वारे उष्णता निर्माण करते.

एसआयसी कोटिंग ग्रेफाइट एमओसीव्हीडी हीटरचा कोर म्हणजे ग्रेफाइट सब्सट्रेट. प्रवाह बाह्य वीजपुरवठ्याद्वारे लागू केला जातो आणि आवश्यक उच्च तापमान मिळविण्यासाठी उष्णता निर्माण करण्यासाठी ग्रेफाइटची प्रतिरोध वैशिष्ट्ये वापरली जातात. ग्रेफाइट सब्सट्रेटची थर्मल चालकता उत्कृष्ट आहे, जी त्वरीत उष्णता आयोजित करू शकते आणि तापमान समान रीतीने संपूर्ण हीटर पृष्ठभागावर हस्तांतरित करू शकते. त्याच वेळी, एसआयसी कोटिंग ग्रेफाइटच्या थर्मल चालकतेवर परिणाम करीत नाही, ज्यामुळे हीटर तापमानातील बदलांना द्रुतपणे प्रतिसाद देऊ शकेल आणि एकसारखे तापमान वितरण सुनिश्चित करते.

शुद्ध ग्रेफाइट उच्च तापमानाच्या परिस्थितीत ऑक्सिडेशनसाठी प्रवण आहे. SiC कोटिंग प्रभावीपणे ग्रेफाइटला ऑक्सिजनच्या थेट संपर्कापासून वेगळे करते, त्यामुळे ऑक्सिडेशन प्रतिक्रिया रोखते आणि हीटरचे आयुष्य वाढवते. याव्यतिरिक्त, एमओसीव्हीडी उपकरणे रासायनिक वाफ साठण्यासाठी संक्षारक वायू (जसे की अमोनिया, हायड्रोजन इ.) वापरतात. SiC कोटिंगची रासायनिक स्थिरता या संक्षारक वायूंच्या क्षरणाला प्रभावीपणे प्रतिकार करण्यास आणि ग्रेफाइट सब्सट्रेटचे संरक्षण करण्यास सक्षम करते.

उच्च तापमानात, अनकोटेड ग्रेफाइट सामग्री कार्बनचे कण सोडू शकते, ज्यामुळे चित्रपटाच्या साचण्याच्या गुणवत्तेवर परिणाम होतो. SiC कोटिंगचा वापर कार्बन कणांच्या प्रकाशनास प्रतिबंधित करते, MOCVD प्रक्रिया स्वच्छ वातावरणात पार पाडण्यास परवानगी देते, उच्च स्वच्छता आवश्यकतांसह सेमीकंडक्टर उत्पादनाच्या गरजा पूर्ण करते.

अखेरीस, एसआयसी कोटिंग ग्रेफाइट एमओसीव्हीडी हीटर सामान्यत: सब्सट्रेट पृष्ठभागावर एकसमान तापमान सुनिश्चित करण्यासाठी परिपत्रक किंवा इतर नियमित आकारात डिझाइन केले जाते. जाड चित्रपटांच्या एकसमान वाढीसाठी तापमान एकसारखेपणा गंभीर आहे, विशेषत: जीएएन आणि आयएनपी सारख्या आयआयआय-व्ही संयुगेच्या एमओसीव्हीडी एपिटॅक्सियल ग्रोथ प्रक्रियेमध्ये.

VeTeK सेमीकंडक्टर व्यावसायिक कस्टमायझेशन सेवा प्रदान करते. उद्योगातील आघाडीची मशीनिंग आणि SiC कोटिंग क्षमता आम्हाला MOCVD उपकरणांसाठी उच्च-स्तरीय हीटर्स तयार करण्यास सक्षम करते, बहुतेक MOCVD उपकरणांसाठी योग्य.

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म

वेटेक सेमीकंडक्टर एसआयसी कोटिंग ग्रेफाइट एमओसीव्हीडी हीटर शॉप्स