सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटर

हे सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटरसिलिकॉन कार्बन सिरेमिक कोटिंगचा उच्च तापमान प्रतिरोध, गंज प्रतिरोध आणि पोशाख प्रतिकारांसह ग्रेफाइटची उत्कृष्ट विद्युत आणि थर्मल चालकता एकत्र करते आणि कठोर अर्धसंवाहक उत्पादन वातावरणासाठी डिझाइन केलेले आहे. 

सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटरप्रामुख्याने व्हॅक्यूम कोटिंग (बाष्पीभवन) उपकरणांमध्ये वापरला जातो आणि सामान्यत: वापरल्या जाणार्‍या पद्धती पीसीडी (प्लाझ्मा केमिकल ड्राईंग) आणि पीव्हीडी (भौतिक वाष्प जमा) आहेत. सेमीकंडक्टर उद्योगात तंत्रज्ञानाच्या प्रगतीस चालना देण्यासाठी आणि उत्पादन कार्यक्षमता सुधारण्यात या उत्पादनाने महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावली आहे.आम्ही आपल्याशी पुढील सहकार्यासाठी प्रामाणिकपणे उत्सुक आहोत.

सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटरची सामग्री आणि स्ट्रक्चरल वैशिष्ट्ये खालीलप्रमाणे आहेत:

ग्रेफाइट सब्सट्रेट: ग्रेफाइट उच्च थर्मल चालकता आणि कमी थर्मल विस्तार गुणांक म्हणून ओळखला जातो. हे तापमानातील बदलांना द्रुत प्रतिसाद देऊ शकते आणि उच्च तापमानात स्ट्रक्चरल स्थिरता राखू शकते.

सिलिकॉन कार्बन सिरेमिक कोटिंग: एसआयसी कोटिंग रासायनिक वाष्प जमा किंवा इतर प्रगत प्रक्रियेद्वारे ग्रेफाइट पृष्ठभागावर समान रीतीने लेपित आहे. एसआयसीमध्ये अत्यंत कठोरपणा आणि रासायनिक गंज प्रतिकार आहे, जो उच्च-तापमान ऑक्सिडेशन आणि संक्षारक वातावरणापासून ग्रेफाइट सब्सट्रेटचे संरक्षण करू शकतो.

सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटरचे विशेष उत्पादन स्ट्रक्चरल डिझाइन निश्चित करतेसेमीकंडक्टर प्रक्रिया प्रक्रियेत या उत्पादनाचे अपरिवर्तनीय उत्पादन फायदे:

कार्यक्षम आणि एकसमान हीटिंग:

औष्णिक चालकता: ग्रेफाइटची उच्च थर्मल चालकता हीटरला आवश्यक तापमान द्रुतगतीने पोहोचण्यास आणि राखण्यास सक्षम करते आणि एसआयसी कोटिंग उष्णतेचे एकसमान वितरण सुनिश्चित करते. सेमीकंडक्टर प्रक्रियेसाठी हे विशेषतः महत्वाचे आहे ज्यास अचूक तापमान नियंत्रण आवश्यक आहे, जसे की रॅपिड थर्मल प्रोसेसिंग (आरटीपी) आणि रासायनिक वाष्प जमा (सीव्हीडी).

तापमान एकसारखेपणा: एकसमान उष्णता वितरणाद्वारे, सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटर प्रभावीपणे थर्मल तणाव आणि तापमान ग्रेडियंट कमी करू शकते, ज्यामुळे संपूर्ण हीटिंग प्रक्रियेदरम्यान सेमीकंडक्टर वेफर्सची सुसंगतता आणि गुणवत्ता स्थिरता सुनिश्चित होते.

विरोधी-विरोधी संरक्षण:

रासायनिक प्रतिकार: एसआयसी कोटिंगचा रासायनिक गंज प्रतिकार हीटरला स्थिरपणे ऑपरेट करण्यास सक्षम करते आणि ग्रेफाइट सब्सट्रेटचे नुकसान टाळण्यासाठी, संक्षिप्त वायू आणि रासायनिक वातावरणात बराच काळ. हे वैशिष्ट्य विशेषत: रासायनिक वाष्प जमा (सीव्हीडी) आणि प्लाझ्मा वर्धित रासायनिक वाष्प जमा (पीईसीव्हीडी) सारख्या प्रक्रियेत गंभीर आहे.

ऑक्सिडेशन प्रतिकार: उच्च तापमानात, एसआयसी कोटिंग ग्रेफाइट सब्सट्रेटचे ऑक्सिडेशन रोखू शकते, हीटरची सेवा जीवन वाढवू शकते आणि उपकरणांच्या देखभालीची वारंवारता आणि किंमत कमी करू शकते.

कण दूषितपणा कमी करा:

पृष्ठभाग स्थिरता: एसआयसी कोटिंग केवळ पोशाख-प्रतिरोधकच नाही तर थर्मल सायकलिंग किंवा रासायनिक प्रतिक्रियांमुळे कणांना भौतिक पृष्ठभागावर पडण्यापासून प्रतिबंधित करते, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग दरम्यान उद्भवू शकणार्‍या कण दूषित होण्याचा धोका कमी होतो आणि उच्च-क्लीनॅलिटी प्रक्रिया वातावरण सुनिश्चित होते.

प्रक्रिया विश्वसनीयता आणि कार्यक्षमता सुधारित करा:

दीर्घ-जीवन डिझाइन: ग्रेफाइटच्या यांत्रिक सामर्थ्याच्या आणि एसआयसी कोटिंगच्या पोशाख प्रतिकारांच्या संयोजनामुळे, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटर कठोर प्रक्रियेच्या परिस्थितीत दीर्घ काळासाठी उच्च-कार्यक्षमता ऑपरेशन राखू शकते, ज्यामुळे उपकरणांची एकूण विश्वासार्हता लक्षणीय सुधारते.

कार्यक्षम उर्जा वापर: ग्रेफाइटची उच्च थर्मल चालकता आणि एसआयसी कोटिंगची उच्च-तापमान स्थिरता तापमान नियंत्रण अचूकता सुधारताना उर्जा वापर कमी करण्यास हीटर सक्षम करते, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर उत्पादनाची एकूण कार्यक्षमता सुधारते.

मूलभूत भौतिक गुणधर्मसिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटर:

हे सेमीकंडक्टरसिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटरदुकाने:

सेमीकंडक्टर चिप एपिटॅक्सी इंडस्ट्री चेनचे विहंगावलोकन:

/इतर-प्रक्रिया