सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक कोटिंग हीटर

हे सेमीकंडक्टरसिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक कोटिंग हीटर उच्च तापमान आणि कठोर वातावरणासाठी डिझाइन केलेले एक हीटर आहे. हे हीटिंग घटकाच्या पृष्ठभागावर सिलिकॉन कार्बन सिरेमिक कोटिंग (एसआयसी) चा एक थर कोट करते जेणेकरून उपकरणे उत्कृष्ट उष्णता प्रतिकार, गंज प्रतिकार आणि थर्मल चालकता देतात. 

सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक कोटिंग हीटरप्रामुख्याने व्हॅक्यूम कोटिंग (बाष्पीभवन) उपकरणांमध्ये वापरले जाते. पीसीडी (प्लाझ्मा केमिकल ड्राईंग) आणि पीव्हीडी (भौतिक वाष्प जमा) सामान्यत: वापरल्या जाणार्‍या पद्धती आहेत, जे सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग आणि इतर उच्च-मागणीनुसार औद्योगिक अनुप्रयोगांमध्ये मोठ्या प्रमाणात वापरले जातात.

सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक कोटिंग हीटरच्या उच्च-कार्यक्षमता कोटिंग डिझाइनसह एकत्रित,हे उच्च-तापमान प्रक्रियेसाठी एक उत्कृष्ट हीटिंग सोल्यूशन प्रदान करू शकते.

उत्कृष्ट थर्मल चालकता: एसआयसी मटेरियलमध्ये उत्कृष्ट थर्मल चालकता आहे, हे सुनिश्चित करते की हीटर कार्यरत क्षेत्रात एकसमान उष्णतेचे वितरण प्राप्त करू शकते आणि तापमान ग्रेडियंट्स कमी करू शकते.

एकसमान उष्णता वितरण प्रदान करा: सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक कोटिंग हीटर हीटिंग क्षेत्रात एकसमान तापमान वितरण प्राप्त करण्यासाठी एसआयसी सामग्रीची उच्च थर्मल चालकता वापरते. रॅपिड थर्मल प्रोसेसिंग (आरटीपी), प्रसार आणि ऑक्सिडेशन यासारख्या विविध उच्च-तापमान प्रक्रियेत सेमीकंडक्टर वेफर्सवर एकसमान उष्णता उपचार सुनिश्चित करणे, स्थानिक ओव्हरहाटिंग किंवा असमान तापमानामुळे उद्भवणारे उत्पादन दोष टाळणे.

उच्च तापमान सहनशीलता: एसआयसी कोटिंग हीटरला अत्यंत उच्च तापमानाचा प्रतिकार करण्यास सक्षम करते, सामान्यत: 1600 डिग्री सेल्सियस पर्यंत, विविध उच्च-तापमान प्रक्रियेसाठी योग्य.

उष्णतेचा प्रतिकार सुधारित करा: कोटिंग अत्यंत उच्च तापमानास प्रतिकार करू शकते, कारण ते प्रक्रियेत चांगले कार्य करते ज्यासाठी दीर्घकालीन उच्च-तापमान ऑपरेशन आवश्यक आहे. उदाहरणार्थ, रासायनिक वाष्प जमा (सीव्हीडी) प्रक्रियेत, सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक कोटिंग हीटर उच्च तापमानात उपकरणांचे दीर्घकालीन स्थिर ऑपरेशन सुनिश्चित करू शकते आणि सातत्याने हीटिंग कार्यक्षमता राखू शकते, ज्यामुळे प्रक्रिया पुनरावृत्ती आणि विश्वासार्हता सुधारते.

रासायनिक गंज प्रतिकार: एसआयसी कोटिंगमध्ये acid सिड, अल्कली आणि संक्षारक वायूंचा अत्यधिक प्रतिकार आहे आणि जटिल रासायनिक वातावरणामध्ये बर्‍याच काळासाठी स्थिर राहू शकतो, ज्यामुळे उपकरणांचे आयुष्य वाढते. 

उपकरणांचे आयुष्य वाढवित आहे: एसआयसी कोटिंगमध्ये उत्कृष्ट ऑक्सिडेशन प्रतिरोध आणि गंज प्रतिकार आहे आणि उच्च तापमानात रासायनिक धूप आणि ऑक्सिडेशनचा प्रभावीपणे प्रतिकार करू शकतो. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेमध्ये हे अत्यंत गंभीर आहे, विशेषत: अशा वातावरणात जे संक्षारक वायू आणि रसायने हाताळते. कोटिंगचा संरक्षक प्रभाव हीटरच्या सेवा जीवनात लक्षणीय वाढवू शकतो आणि उपकरणे बदलण्याची आणि देखभाल खर्चाची वारंवारता कमी करू शकतो.

सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक कोटिंग हीटरचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म:

वेटेक सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक कोटिंग हीटर शॉप्स:

वेटेक सेमीकंडक्टर चिप एपिटॅक्सी इंडस्ट्री चेनचे विहंगावलोकन: