सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटर

VeTek सेमीकंडक्टरसिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक कोटिंग हीटर हे उच्च तापमान आणि कठोर वातावरणासाठी डिझाइन केलेले हीटर आहे. हे उपकरणांना उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधकता, गंज प्रतिरोधकता आणि थर्मल चालकता देण्यासाठी हीटिंग एलिमेंटच्या पृष्ठभागावर सिलिकॉन कार्बन सिरॅमिक कोटिंग (SiC) चा थर लावते. 

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटरहे प्रामुख्याने व्हॅक्यूम कोटिंग (बाष्पीभवन) उपकरणांमध्ये वापरले जाते. PCD (प्लाझ्मा केमिकल ड्रायिंग) आणि PVD (भौतिक वाष्प निक्षेपण) या सामान्यतः वापरल्या जाणाऱ्या पद्धती आहेत, ज्या मोठ्या प्रमाणात सेमीकंडक्टर उत्पादन आणि इतर उच्च-मागणी औद्योगिक अनुप्रयोगांमध्ये वापरल्या जातात.

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटरच्या उच्च-कार्यक्षमता कोटिंग डिझाइनसह एकत्रित,हे उच्च-तापमान प्रक्रियेसाठी उत्कृष्ट गरम समाधान प्रदान करू शकते.

उत्कृष्ट थर्मल चालकता: SiC मटेरियलमध्ये उत्कृष्ट थर्मल चालकता आहे, हे सुनिश्चित करते की हीटर कार्यरत क्षेत्रात समान उष्णता वितरण प्राप्त करू शकतो आणि तापमान ग्रेडियंट कमी करू शकतो.

समान उष्णता वितरण प्रदान करा: सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक कोटिंग हीटर संपूर्ण गरम क्षेत्रामध्ये समान तापमान वितरण प्राप्त करण्यासाठी SiC सामग्रीची उच्च थर्मल चालकता वापरते. जलद थर्मल प्रोसेसिंग (RTP), प्रसार आणि ऑक्सिडेशन यासारख्या विविध उच्च-तापमान प्रक्रियांमध्ये सेमीकंडक्टर वेफर्सची एकसमान उष्णता उपचार सुनिश्चित करण्यासाठी, स्थानिक अतिउष्णतेमुळे किंवा असमान तापमानामुळे उत्पादनातील दोष टाळणे हे महत्त्वाचे आहे.

उच्च तापमान सहिष्णुता: SiC कोटिंग हीटरला अत्यंत उच्च तापमानाचा सामना करण्यास सक्षम करते, विशेषत: 1600°C पर्यंत, विविध उच्च-तापमान प्रक्रिया प्रक्रियेसाठी योग्य.

उष्णता प्रतिकार सुधारा: कोटिंग अत्यंत उच्च तापमानाचा सामना करू शकत असल्यामुळे, दीर्घकालीन उच्च-तापमान ऑपरेशन आवश्यक असलेल्या प्रक्रियांमध्ये ते चांगले कार्य करते. उदाहरणार्थ, रासायनिक वाष्प संचय (CVD) प्रक्रियेमध्ये, सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक कोटिंग हीटर उच्च तापमानात उपकरणांचे दीर्घकालीन स्थिर ऑपरेशन सुनिश्चित करू शकते आणि सातत्यपूर्ण गरम कार्यप्रदर्शन राखू शकते, ज्यामुळे प्रक्रिया पुनरावृत्ती आणि विश्वासार्हता सुधारते.

रासायनिक गंज प्रतिकार: SiC कोटिंगमध्ये आम्ल, अल्कली आणि संक्षारक वायूंचा अत्यंत उच्च प्रतिकार असतो आणि जटिल रासायनिक वातावरणात दीर्घकाळ स्थिर राहू शकतो, ज्यामुळे उपकरणांचे आयुष्य वाढते. 

उपकरणांचे आयुष्य वाढवणे: SiC कोटिंगमध्ये उत्कृष्ट ऑक्सिडेशन प्रतिरोध आणि गंज प्रतिरोधक क्षमता आहे आणि उच्च तापमानात रासायनिक धूप आणि ऑक्सिडेशनला प्रभावीपणे प्रतिकार करू शकते. सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत, विशेषत: संक्षारक वायू आणि रसायने हाताळणाऱ्या वातावरणात हे अत्यंत गंभीर आहे. कोटिंगचा संरक्षणात्मक प्रभाव हीटरच्या सेवा जीवनात लक्षणीय वाढ करू शकतो आणि उपकरणे बदलण्याची वारंवारता आणि देखभाल खर्च कमी करू शकतो.

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटरचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म:

VeTek सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटरची दुकाने:

VeTek सेमीकंडक्टर चिप एपिटॅक्सी इंडस्ट्री चेनचे विहंगावलोकन: