सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग बॅरेल संवेदनशील

एपिटॅक्सी ग्रोथ ही एकच क्रिस्टल सब्सट्रेट (सब्सट्रेट) वर एकच क्रिस्टल फिल्म (सिंगल क्रिस्टल लेयर) वाढविण्याची प्रक्रिया आहे. या एकच क्रिस्टल फिल्मला एपिलेयर म्हणतात. जेव्हा एपिलेयर आणि सब्सट्रेट समान सामग्रीचे बनलेले असते, तेव्हा त्याला होमोपीटॅक्सियल वाढ म्हणतात; जेव्हा ते भिन्न सामग्रीचे बनलेले असतात, तेव्हा त्याला हेटरोएपिटॅक्सियल वाढ म्हणतात.

एपिटॅक्सियल रिएक्शन चेंबरच्या संरचनेनुसार, दोन प्रकार आहेत: क्षैतिज आणि अनुलंब. अनुलंब एपिटॅक्सियल फर्नेसचा संवेदनाक्षम ऑपरेशन दरम्यान सतत फिरतो, म्हणून त्यात चांगली एकसमानता आणि मोठ्या उत्पादनाचे प्रमाण असते आणि मुख्य प्रवाहातील एपिटॅक्सियल ग्रोथ सोल्यूशन बनले आहे. सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग बॅरेल स्यूसेप्टर हा बॅरेल प्रकारातील एपिटॅक्सियल फर्न्रेसचा मुख्य घटक आहे. आणि वेटेक सेमीकंडक्टर ईपीआयसाठी एसआयसी लेपित ग्रेफाइट बॅरेल सासेप्टरचे उत्पादन तज्ञ आहेत.

एमओसीव्हीडी आणि एचव्हीपीई सारख्या एपिटॅक्सियल ग्रोथ उपकरणांमध्ये, एसआयसी लेपित ग्रेफाइट बॅरेल स्यूससेप्टर्सचा वापर वेफरचे निराकरण करण्यासाठी केला जातो जेणेकरून ते वाढीच्या प्रक्रियेदरम्यान स्थिर राहते. वेफर बॅरेल प्रकारातील संवेदनशीलतेवर ठेवला जातो. उत्पादन प्रक्रिया जसजशी पुढे जात आहे तसतसे वेफरला समान रीतीने गरम करण्यासाठी सतत फिरते, तर वेफर पृष्ठभाग प्रतिक्रिया गॅसच्या प्रवाहाच्या संपर्कात असतो, शेवटी एकसमान एपिटॅक्सियल वाढ साध्य करते.

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग बॅरेल प्रकार संवेदनशील योजनाबद्ध

एपिटॅक्सियल ग्रोथ फर्नेस एक उच्च-तापमान वातावरण आहे जे संक्षारक वायूंनी भरलेले आहे. अशा कठोर वातावरणावर मात करण्यासाठी, वेटेक सेमीकंडक्टरने सीव्हीडी पद्धतीने ग्रॅफाइट बॅरेल संवेदनशीलतेमध्ये एसआयसी कोटिंगचा एक थर जोडला, अशा प्रकारे एसआयसी लेपित ग्रेफाइट बॅरेल सिससेप्टर प्राप्त होते

स्ट्रक्चरल वैशिष्ट्ये:

●  एकसमान तापमान वितरण: बॅरेल-आकाराची रचना उष्णता अधिक समान रीतीने वितरीत करू शकते आणि स्थानिक ओव्हरहाटिंग किंवा शीतकरणामुळे वेफरचे ताण किंवा विकृती टाळते.

●  एअरफ्लोचा त्रास कमी करा: बॅरेल-आकाराच्या संवेदनशीलतेची रचना प्रतिक्रिया चेंबरमध्ये एअरफ्लोचे वितरण अनुकूलित करू शकते, ज्यामुळे गॅस वेफरच्या पृष्ठभागावर सहजतेने वाहू शकेल, ज्यामुळे सपाट आणि एकसमान एपिटॅक्सियल थर तयार करण्यास मदत होते.

●  रोटेशन यंत्रणा: बॅरेल-आकाराच्या संवेदनशीलतेची रोटेशन यंत्रणा एपिटॅक्सियल लेयरच्या जाडीची सुसंगतता आणि भौतिक गुणधर्म सुधारते.

●  मोठ्या प्रमाणात उत्पादन: बॅरेल-आकाराचा संवेदनाक्षम 200 मिमी किंवा 300 मिमी वेफर्स सारख्या मोठ्या वेफर्स वाहून नेताना त्याची स्ट्रक्चरल स्थिरता राखू शकते, जे मोठ्या प्रमाणात मोठ्या प्रमाणात उत्पादनासाठी योग्य आहे.

वेटेक सेमीकंडक्टर सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग बॅरेल प्रकार सासेप्टर उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट आणि सीव्हीडी एसआयसी कोटिंगचा बनलेला आहे, ज्यामुळे संवेदनशीलतेला संक्षारक वायू वातावरणात दीर्घकाळ काम करण्यास सक्षम करते आणि चांगले थर्मल चालकता आणि स्थिर यांत्रिक आधार आहे. हे सुनिश्चित करा की वेफर समान रीतीने गरम केले आहे आणि अचूक एपिटॅक्सियल वाढ साध्य करा.

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म
मालमत्ता	ठराविक मूल्य
क्रिस्टल स्ट्रक्चर	एफसीसी β फेज पॉलीक्रिस्टलिन, प्रामुख्याने (111) देणारं
घनता	3.21 ग्रॅम/सेमी
कडकपणा	2500 विकर कडकपणा （500 ग्रॅम लोड）
धान्य आकार	2 ~ 10 मिमी
रासायनिक शुद्धता	99.99995%
उष्णता क्षमता	640 जे · किलो-1· के-1
उदात्त तापमान	2700 ℃
लवचिक सामर्थ्य	415 एमपीए आरटी 4-पॉइंट
यंगचे मॉड्यूलस	430 जीपीए 4 पीटी बेंड, 1300 ℃
औष्णिक चालकता	300 डब्ल्यू · मी-1· के-1
थर्मल विस्तार (सीटीई)	4.5 × 10-6K-1

वेटेक सेमीकंडक्टर सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग बॅरेल प्रकार संवेदनशील