सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग संरक्षक

उत्पादन स्थिती आणि कोर फंक्शन्स ●

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग प्रोटेक्टर एलपीई सिलिकॉन कार्बाईड एपिटॅक्सियल उपकरणांमध्ये एक महत्त्वाचा घटक आहे, जो प्रामुख्याने प्रतिक्रिया चेंबरच्या अंतर्गत संरचनेचे संरक्षण करण्यासाठी आणि प्रक्रिया स्थिरता सुधारण्यासाठी वापरला जातो. त्याच्या मुख्य कार्यांमध्ये हे समाविष्ट आहे:

गंज संरक्षणः रासायनिक वाष्प जमा (सीव्हीडी) प्रक्रियेद्वारे तयार केलेले सिलिकॉन कार्बाईड कोटिंग क्लोरीन/फ्लोरिन प्लाझ्माच्या रासायनिक गंजला प्रतिकार करू शकते आणि एचिंग उपकरणासारख्या कठोर वातावरणासाठी योग्य आहे;

थर्मल मॅनेजमेंट: सिलिकॉन कार्बाईड सामग्रीची उच्च थर्मल चालकता प्रतिक्रिया चेंबरमधील तापमान एकसारखेपणा अनुकूलित करू शकते आणि एपिटॅक्सियल लेयरची गुणवत्ता सुधारू शकते;

प्रदूषण कमी करणे: अस्तर घटक म्हणून, ते उप-उत्पादनांना थेट चेंबरशी संपर्क साधण्यापासून प्रतिबंधित करू शकते आणि उपकरणांच्या देखभाल चक्र वाढवू शकते.

तांत्रिक वैशिष्ट्ये आणि डिझाइन ●

स्ट्रक्चरल डिझाइन:

सामान्यत: वरच्या आणि खालच्या अर्ध्या चंद्राच्या भागांमध्ये विभागले जाते, रिंग-आकाराचे संरक्षणात्मक रचना तयार करण्यासाठी ट्रेच्या सभोवताल सममितीयपणे स्थापित केले जाते;

एअरफ्लो वितरण आणि प्लाझ्मा फोकसिंग इफेक्ट ऑप्टिमाइझ करण्यासाठी ट्रे आणि गॅस शॉवर हेड यासारख्या घटकांसह सहकार्य.

कोटिंग प्रक्रिया:

सीव्हीडी पद्धतीचा उपयोग उच्च-शुद्धता एसआयसी कोटिंग्ज जमा करण्यासाठी केला जातो, ज्यामध्ये फिल्मच्या जाडीची एकसमानता 5% आणि पृष्ठभाग उग्रपणा कमी आहे;

ठराविक कोटिंगची जाडी 100-300μm आहे आणि ती 1600 higher च्या उच्च तापमानाच्या वातावरणास प्रतिकार करू शकते.

अनुप्रयोग परिदृश्य आणि कार्यप्रदर्शन फायदे ●

लागू उपकरणे:

मुख्यतः एलपीईच्या 6 इंचाच्या 8 इंच सिलिकॉन कार्बाईड एपिटॅक्सियल फर्नेससाठी वापरले जाते, एसआयसी होमोएपिटॅक्सियल वाढीस समर्थन देते;

एचिंग उपकरणे, एमओसीव्हीडी उपकरणे आणि इतर परिदृश्यांसाठी योग्य आहेत ज्यांना उच्च गंज प्रतिकार आवश्यक आहे.

मुख्य निर्देशक:

औष्णिक विस्तार गुणांक: 4.5 × 10⁻⁶/के (थर्मल तणाव कमी करण्यासाठी ग्रेफाइट सब्सट्रेटशी जुळत आहे);

प्रतिरोधकता: 0.1-10ω · सेमी (चालकता आवश्यकता पूर्ण करणे);

सेवा जीवन: पारंपारिक क्वार्ट्ज/सिलिकॉन सामग्रीपेक्षा 3-5 पट जास्त.

तांत्रिक अडथळे आणि आव्हाने

या उत्पादनास कोटिंग एकसारखेपणा नियंत्रण (जसे की एज जाडी भरपाई) आणि सब्सट्रेट-लेटिंग इंटरफेस बॉन्डिंग ऑप्टिमायझेशन (≥30 एमपीए) यासारख्या प्रक्रियेच्या अडचणींवर मात करणे आवश्यक आहे आणि त्याच वेळी एलपीई उपकरणांच्या हाय-स्पीड रोटेशन (1000 आरपीएम) आणि तापमान ग्रेडियंट आवश्यकता जुळविणे आवश्यक आहे.