एचिंगसाठी फोकस रिंग

प्लाझ्मा पर्यावरण स्थिरता राखून, उपकरणे आणि वेफर्सचे संरक्षण, संसाधनाचा उपयोग अनुकूलित करणे आणि प्रगत प्रक्रियेच्या आवश्यकतानुसार रुपांतर करून सेमीकंडक्टर एचिंग प्रक्रियेत मोनोक्रिस्टलिन सिलिकॉन एचिंग रिंग्ज आवश्यक घटक आहेत. त्याची कार्यक्षमता चिप मॅन्युफॅक्चरिंगच्या उत्पन्न आणि किंमतीवर थेट परिणाम करते.

प्लाझ्मा एकरूपता, तापमान नियंत्रण आणि प्रक्रिया पुनरावृत्तीची खात्री करण्यासाठी एचेड फोकस रिंग, इलेक्ट्रोड आणि इ. (एज टेम्परेचर कंट्रोलर) हे मुख्य उपभोग्य वस्तू आहेत. हे घटक सीव्हीडी, एचिंग आणि फिल्म उपकरणांच्या व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये तंतोतंत एकत्र केले जातात आणि वेफरच्या मध्यभागी एचिंगची अचूकता आणि उत्पादन थेट निर्धारित करतात.

उच्च-अंत उत्पादन प्रक्रियेत भौतिक गुणधर्मांच्या कठोर मागणीला उत्तर देताना, वेटेक्सेमी फोकसिंग रिंग्ज आणि समर्थन देण्यायोग्य वस्तू तयार करण्यासाठी 10-20 ω सेमीच्या प्रतिरोधकतेसह उच्च-शुद्धता मोनोक्रिस्टलिन सिलिकॉनचा वापर करून नवीन बनवते. मटेरियल सायन्स, इलेक्ट्रिकल डिझाइन आणि थर्मोडायनामिक्सच्या सहयोगी ऑप्टिमायझेशनद्वारे, वेटेकेमी फोकसिंग रिंग्ज आणि समर्थन देणगी तयार करण्यास सक्षम आहे. दीर्घायुष्य, अचूकता आणि खर्चाच्या प्रभावीतेत यशस्वी सुधारणा साध्य करण्यासाठी पारंपारिक क्वार्ट्ज सोल्यूशन्सला विस्तृतपणे मागे टाकले.

मुख्य सामग्रीची तुलना आणि प्रतिरोधकता ऑप्टिमायझेशन

मोनोक्रिस्टलिन सिलिकॉन वि. क्वार्ट्ज

उत्पादन कोर फायदेe

1. अणु स्तरीय प्रक्रिया अचूकता

प्रतिरोधकता ऑप्टिमायझेशन + अल्ट्रा-प्रीसीशन पॉलिशिंग (आरए <0.1μM) अर्ध एफ 47 मानकांची पूर्तता करण्यासाठी सूक्ष्म-डिस्चार्ज आणि कण दूषितपणा दूर करते.

डायलेक्ट्रिक तोटा (टॅन Δ <0.001) वेफर डायलेक्ट्रिक वातावरणाशी अत्यंत जुळला आहे, एज इलेक्ट्रिक फील्ड विकृती टाळतो आणि 3 डी नंद 89.5 ° ± 0.3 ° अनुलंब खोल भोक एचिंगला समर्थन देतो.

2. इंटेलिजेंट सिस्टम सुसंगतता

ईटीसी एज तापमान नियंत्रण मॉड्यूलसह ​​समाकलित केलेले, शीतलक हवेचा प्रवाह गतिशीलपणे चेंबर थर्मल ड्राफ्टची भरपाई करण्यासाठी थर्माकोपल आणि एआय अल्गोरिदमद्वारे समायोजित केला जातो.

सानुकूलित आरएफ मॅचिंग नेटवर्कला समर्थन द्या, जे अमाट सेंटुरा, एलएएम रिसर्च कियो आणि आयसीपी/सीसीपी प्लाझ्मा स्त्रोत सारख्या मुख्य प्रवाहातील मशीनसाठी योग्य आहेत.

3. सर्वसमावेशक खर्च-प्रभावीपणा

मोनोक्रिस्टलिन सिलिकॉनचे आयुष्य क्वार्ट्जच्या तुलनेत 275% लांब आहे, देखभाल चक्र 3,000 तासांपेक्षा जास्त आहे आणि मालकीची (टीसीओ) विस्तृत किंमत 30% कमी झाली आहे.

प्रतिरोधकता ग्रेडियंट कस्टमायझेशन सर्व्हिस (5-100ω · सेमी), ग्राहक प्रक्रिया विंडोशी तंतोतंत जुळते (जसे की जीएएन/एसआयसी वाइड बँड गॅप मटेरियल एचिंग).

प्रतिरोधकतेचा प्रभाव

उत्पादन व्यावसायिक अटी

किमान ऑर्डरचे प्रमाण	1 सेट
किंमत	सानुकूलित कोटेशनसाठी संपर्क
पॅकेजिंग तपशील	मानक निर्यात पॅकेज
वितरण वेळ	वितरण वेळ: ऑर्डर पुष्टीकरणानंतर 30-35 दिवस
देय अटी	टी/टी
पुरवठा क्षमता	600 सेट/महिना