सच्छिद्र ग्रेफाइट मार्गदर्शक रिंग

मुख्य उत्पादन फायदे

1. अति-उच्च शुद्धता आणि कमी दोष हमी

ऑक्सिजन आणि नायट्रोजन सारख्या धातू नसलेल्या अशुद्धता खोलवर काढून टाकण्यासाठी 3000℃ व्हॅक्यूम उच्च-तापमान शुद्धीकरण प्रक्रियेचा अवलंब करते, ज्यामुळे उत्पादनाची शुद्धता ≥99.9995% पर्यंत वाढते. हे अशुद्धता-प्रेरित क्रिस्टल दोष (उदा. मायक्रोट्यूब्यूल्स, डिस्लोकेशन) स्त्रोतापासून दूर करते, SiC सिंगल क्रिस्टल्सच्या विद्युत गुणधर्मांची स्थिरता आणि स्थिरता सुनिश्चित करते आणि उच्च-गुणवत्तेच्या क्रिस्टल वाढीसाठी एक भक्कम पाया घालते.

2. अति-उच्च तापमान स्थिरता आणि अचूक थर्मल फील्ड नियमन

आर्गॉन किंवा व्हॅक्यूम वातावरणात 2200 ℃ च्या अत्यंत उच्च तापमानाचा सामना करू शकतो, 1000 तासांपेक्षा जास्त काळ मऊ किंवा विकृत न करता सतत आणि स्थिरपणे कार्य करतो. उत्पादनामध्ये थर्मल विस्ताराचे कमी गुणांक आहे, जे थर्मल तणावामुळे होणारी सामग्री क्रॅक प्रभावीपणे टाळू शकते. हे सच्छिद्रता (15-30%) च्या ग्रेडियंट वितरण डिझाइनला समर्थन देते आणि CFD (कम्प्युटेशनल फ्लुइड डायनॅमिक्स) सिम्युलेशन तंत्रज्ञानासह एकत्रित छिद्र आकार (10-200μm) ऑप्टिमाइझ करते, तापमान ग्रेडियंट चढउतार ±3 ℃ मध्ये नियंत्रित करते आणि थर्मल फील्ड औष्णिकता आणि स्थिरता वाढीमध्ये लक्षणीय सुधारणा करते.

3. सानुकूलित अनुकूलन आणि पूर्ण-परिदृश्य समाधान

• भौमितिक आकार अनुकूलन: अचूक जुळणी आणि स्थापना साध्य करण्यासाठी ग्राहकांच्या भट्टीच्या संरचनेनुसार कंकणाकृती बॅरल्स आणि मल्टी-लेयर शील्ड स्ट्रक्चर्स यांसारख्या जटिल आकारांवर अचूकपणे प्रक्रिया करू शकते.
• पृष्ठभाग प्रक्रिया कस्टमायझेशन: वैयक्तिक पृष्ठभाग उपचार सेवा प्रदान करते जसे की अल्ट्रा-प्रिसिजन पॉलिशिंग आणि विशेष कोटिंग्ज, उत्पादनाची गंज प्रतिरोधकता आणि सेवा आयुष्य मोठ्या प्रमाणात वाढवते.

4. कार्यप्रदर्शन-सत्यापित आणि कार्यक्षमता श्रेणीसुधारित

• PVT SiC क्रिस्टलायझेशन प्रक्रियेत कोर थर्मल फील्ड घटक म्हणून वापरले जाते तेव्हा, ते व्यावहारिक परिस्थितींमध्ये सत्यापित केले गेले आहे:
• पारंपारिक ग्रेफाइट उत्पादनांच्या तुलनेत क्रिस्टल वाढीचा दर 15%-20% वाढला आहे, ज्यामुळे उत्पादन चक्र लक्षणीयरीत्या कमी होते.
• 4-इंच SiC सिंगल क्रिस्टल वेफर्सचे उत्पादन 90% पेक्षा जास्त आहे, ज्यामुळे उत्पादन खर्च प्रभावीपणे कमी होतो.
• उपकरणे देखभाल चक्र पारंपारिक 3 महिन्यांपासून 6 महिन्यांपर्यंत वाढविले जाते, शटडाउन देखभालची वारंवारता कमी करते आणि उत्पादन कार्यक्षमता सुधारते.
  
  

अनुप्रयोग परिस्थिती

• PVT ग्रोथ फर्नेस असेंब्ली: स्फटिकीकरण प्रक्रियेची सुरळीत प्रगती सुनिश्चित करण्यासाठी स्थिर आणि एकसमान थर्मल फील्ड वितरण प्रदान करून, SiC मटेरियल उदात्तीकरण आणि क्रिस्टल वाढीसाठी मुख्य घटक म्हणून काम करते.
• थर्मल फील्ड शील्डिंग घटक: अद्वितीय सच्छिद्र रचना थर्मल ताण प्रभावीपणे बफर करू शकते, उपकरणाची पोशाख कमी करू शकते आणि उपकरणांचे एकूण सेवा आयुष्य वाढवू शकते.
• सीड क्रिस्टल सपोर्ट ऍक्सेसरी: बियाणे क्रिस्टल्सला स्थिरपणे समर्थन देण्यासाठी उच्च यांत्रिक शक्ती आहे, दिशात्मक क्रिस्टल वाढीची अचूकता सुनिश्चित करते.
• गॅस डिफ्यूजन लेयर: गॅस-फेज ट्रान्सफर कार्यक्षमता ऑप्टिमाइझ करते, कच्च्या मालाचे एकसमान उदात्तीकरण आणि जमा होण्यास प्रोत्साहन देते आणि पुढे एकल क्रिस्टल गुणवत्ता आणि वाढीचा दर सुधारतो.

तांत्रिक मापदंड

मुख्य स्पर्धात्मक हायलाइट्स

• अत्यंत उच्च-तापमान कार्यप्रदर्शन: मऊ किंवा विकृत न करता 2200℃ वर संरचनात्मक स्थिरता राखते, अत्यंत प्रक्रिया आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी 1000 तासांहून अधिक सतत ऑपरेशनला समर्थन देते.
• सानुकूलित थर्मल फील्ड सोल्यूशन: छिद्र ग्रेडियंट डिझाइन ऑप्टिमाइझ करण्यासाठी, ग्राहकांच्या प्रक्रियेच्या गरजा अचूकपणे जुळवण्यासाठी आणि क्रिस्टल एकरूपता आणि उत्पादन उत्पादन सुधारण्यासाठी CFD सिम्युलेशन तंत्रज्ञानावर अवलंबून आहे.
• जलद प्रतिसाद सेवा: प्रक्रिया पॅरामीटर जुळणारी चाचणी सेवा प्रदान करते आणि 72 तासांच्या आत प्रोटोटाइप सोल्यूशन्स वितरीत करते, ग्राहकांना R&D आणि उत्पादन प्रक्रियांना गती देण्यास मदत करते.