MOCVD साठी SiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर

एमओसीव्हीडीसाठी वेटेक सेमीकंडक्टरचा एसआयसी लेपित ग्रेफाइट सासेप्टर एक उच्च-शुद्धता एसआयसी लेपित ग्रेफाइट कॅरियर आहे, विशेषत: वेफर चिप्सवरील एपिटॅक्सियल लेयर ग्रोथसाठी डिझाइन केलेले आहे. एमओसीव्हीडी प्रक्रियेतील केंद्रीय घटक म्हणून, सामान्यत: गीअर किंवा रिंग म्हणून आकाराचे, ते अपवादात्मक उष्णता प्रतिकार आणि गंज प्रतिकार अभिमान बाळगते, ज्यामुळे अत्यंत वातावरणात स्थिरता सुनिश्चित होते.

MOCVD SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टरची प्रमुख वैशिष्ट्ये:

●  फ्लेक-प्रतिरोधक कोटिंग: सर्व पृष्ठभागावर एकसमान SiC कोटिंग कव्हरेज सुनिश्चित करते, कण वेगळे होण्याचा धोका कमी करते

●   उत्कृष्ट उच्च-तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोधकce: 1600°C पर्यंत तापमानात स्थिर राहते

●   उच्च शुद्धता: उच्च-तापमान क्लोरीनेशन परिस्थितीसाठी योग्य, सीव्हीडी रासायनिक वाष्प जमा करून उत्पादित

●   उत्कृष्ट गंज प्रतिकार: आम्ल, क्षार, क्षार आणि सेंद्रिय अभिकर्मकांना अत्यंत प्रतिरोधक

●   ऑप्टिमाइझ केलेले लॅमिनार एअरफ्लो पॅटर्न: एअरफ्लो डायनॅमिक्सची एकसमानता वाढवते

●   एकसमान थर्मल वितरण: उच्च-तापमान प्रक्रियेदरम्यान स्थिर उष्णता वितरण सुनिश्चित करते

● दूषित प्रतिबंध: वेफर स्वच्छता सुनिश्चित करून दूषित पदार्थ किंवा अशुद्धींचे प्रसार प्रतिबंधित करते

वेटेक सेमीकंडक्टरमध्ये, आम्ही आमच्या ग्राहकांना विश्वासार्ह उत्पादने आणि सेवा वितरीत करीत कठोर गुणवत्तेच्या मानकांचे पालन करतो. आम्ही केवळ प्रीमियम सामग्री निवडतो, उद्योगाच्या कामगिरीच्या आवश्यकतांची पूर्तता आणि त्यापेक्षा जास्त प्रयत्न करीत आहोत. एमओसीव्हीडीसाठी आमचा एसआयसी लेपित ग्रेफाइट सासेप्टर गुणवत्तेसाठी या वचनबद्धतेचे उदाहरण देतो. आम्ही आपल्या सेमीकंडक्टर वेफर प्रक्रियेच्या गरजा कशा समर्थन देऊ शकतो याबद्दल अधिक जाणून घेण्यासाठी आमच्याशी संपर्क साधा.

CVD SIC फिल्म क्रिस्टल स्ट्रक्चर:

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म:

VeTek सेमीकंडक्टर MOCVD SiC लेपित ग्रेफाइट रिसेप्टर: