एपिटॅक्सीसाठी एसआयसी लेपित सीलिंग रिंग

Ⅰ. एसआयसी लेपित सील रिंग म्हणजे काय?

एसआयसी कोटेड सील रिंग (सिलिकॉन कार्बाईड लेपित सील रिंग) हा एक अचूक सीलिंग घटक आहे जो उच्च तापमान, अत्यंत संक्षारक सेमीकंडक्टर प्रक्रियेच्या वातावरणासाठी डिझाइन केलेला आहे. त्याचे मूळ रासायनिक वाष्प जमा (सीव्हीडी) किंवा भौतिक वाष्प जमा (पीव्हीडी) प्रक्रियेद्वारे, ग्रेफाइट किंवा कार्बन कंपोझिट मटेरियल सब्सट्रेट पृष्ठभाग समान रीतीने उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाईड (एसआयसी) कोटिंगच्या थराने व्यापलेले आहे, सबट्रेटची दोन्ही यांत्रिक सामर्थ्य आणि उच्च-कार्यक्षमता गुणधर्मांच्या कोटिंगची निर्मिती.  

Ⅱ. उत्पादन रचना आणि मुख्य तंत्रज्ञान  

1. सब्सट्रेट सामग्री:

ग्रेफाइट किंवा कार्बन-कार्बन संमिश्र सामग्री: बेस मटेरियलमध्ये उच्च उष्णतेच्या प्रतिकारांचा फायदा (2000 ℃ पेक्षा जास्त प्रतिकार करू शकतो) आणि थर्मल विस्ताराचे कमी गुणांक, ज्यामुळे उच्च तापमानासारख्या अत्यंत परिस्थितीत आयामी स्थिरता सुनिश्चित होते.  

अचूक मशीनिंग रचना: सुस्पष्ट रिंग डिझाइन सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या पोकळीशी उत्तम प्रकारे रुपांतर केले जाऊ शकते, ज्यामुळे सीलिंग पृष्ठभागाची सपाटपणा आणि चांगली हवाबंदपणा सुनिश्चित होईल.  

2. कार्यात्मक कोटिंग:  

उच्च शुद्धता sic कोटिंग (शुद्धता ≥99.99%): सीव्हीडी प्रक्रियेद्वारे कोयिंगची जाडी सामान्यत: 10-50μm असते, सीलिंग रिंग पृष्ठभाग उत्कृष्ट रासायनिक जडत्व आणि यांत्रिक गुणधर्म देते.

Ⅲ. मुख्य भौतिक गुणधर्म आणि फायदे

अत्यंत परिस्थितीत उत्कृष्ट कामगिरीमुळे वेटेकसेमॉनच्या सिक-लेपित सीलिंग रिंग्ज सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी प्रक्रियेसाठी आदर्श आहेत. खाली उत्पादनाचे विशिष्ट भौतिक गुणधर्म आहेत:

Iv. सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी प्रोसेसिंग मधील कोर अनुप्रयोग  

एसआयसी लेपित सीलिंग रिंग प्रामुख्याने एमओसीव्हीडी (मेटल सेंद्रिय रासायनिक वाष्प जमा) आणि एमबीई (आण्विक बीम एपिटॅक्सी) आणि इतर प्रक्रिया उपकरणांमध्ये वापरली जाते, विशिष्ट कार्ये समाविष्ट करतात:  

1. सेमीकंडक्टर उपकरणे प्रतिक्रिया चेंबर एअर घट्टपणा संरक्षण

आमच्या सीआयसी-लेपित सीलिंग रिंग्ज हे सुनिश्चित करतात की रिंग स्ट्रक्चर सानुकूलित करून उपकरणे चेंबर (उदा. फ्लॅंज, बेस शाफ्ट) च्या इंटरफेसचे मितीय सहिष्णुता (सहसा ± 0.01 मिमी). 

त्याच वेळी, सीएनसी मशीन टूल्सचा वापर करून सीलिंग रिंग अचूकतेची आहे जी संपर्क पृष्ठभागाच्या संपूर्ण परिघाभोवती एकसमान फिट सुनिश्चित करते, सूक्ष्मदर्शक अंतर दूर करते. हे प्रक्रिया वायूंच्या गळतीस प्रभावीपणे प्रतिबंधित करते (उदा. एच ₂ एनएचए), एपिटॅक्सियल लेयर ग्रोथ वातावरणाची शुद्धता सुनिश्चित करते आणि वेफर उत्पन्न सुधारते.  

दुसरीकडे, चांगली गॅस घट्टपणा बाह्य प्रदूषक (ओ ₂, एचओओ) च्या घुसखोरीला देखील अवरोधित करू शकतो, ज्यामुळे एपिटॅक्सियल लेयरमधील दोष प्रभावीपणे टाळणे (जसे की डिस्लोकेशन्स, अशुद्धतेचे असमान डोपिंग).  

2. उच्च तापमान डायनॅमिक सीलिंग समर्थन  

सब्सट्रेट-लेटिंग सिंनर्जिस्टिक अँटी-डिफॉर्मेशनचे तत्त्व स्वीकारणे: ग्रॅफाइट सब्सट्रेटच्या थर्मल विस्ताराच्या कमी गुणांक (सीटीई ≈ 4.5 × 10-⁶/° से) खूपच लहान आहे आणि अत्यंत उच्च तापमानात (＞ 1000 ℃) विस्तारित परिणामी थेंबाच्या सीलच्या परिणामी केवळ 1/5 आहे. एसआयसी कोटिंग (एचव्ही 2500 किंवा त्याहून अधिक) च्या अल्ट्रा-हाय कडकपणासह एकत्रित, ते यांत्रिक कंपमुळे किंवा कणांच्या प्रभावामुळे उद्भवलेल्या सीलिंग पृष्ठभागावर स्क्रॅचचा प्रभावीपणे प्रतिकार करू शकते आणि सूक्ष्म सपाटपणा राखू शकते.

व्ही. देखभाल शिफारसी

1. अचानक अपयश टाळण्यासाठी सीलिंग पृष्ठभाग पोशाख (त्रैमासिक ऑप्टिकल मायक्रोस्कोप तपासणीची शिफारस केली जाते) तपासा.  

२. एसआयसी कोटिंगचे नुकसान टाळण्यासाठी, ठेवी काढून टाकण्यासाठी, मेकॅनिकल ग्राइंडिंगला प्रतिबंधित करण्यासाठी विशेष क्लीनर (जसे की निर्जल इथेनॉल) वापरा.