उत्पादने
उत्पादने
एसआयसी सिंगल क्रिस्टलच्या पीव्हीटी वाढीसाठी टीएसी कोटेड रिंग
  • एसआयसी सिंगल क्रिस्टलच्या पीव्हीटी वाढीसाठी टीएसी कोटेड रिंगएसआयसी सिंगल क्रिस्टलच्या पीव्हीटी वाढीसाठी टीएसी कोटेड रिंग

एसआयसी सिंगल क्रिस्टलच्या पीव्हीटी वाढीसाठी टीएसी कोटेड रिंग

चीनमधील टीएसी कोटिंग उत्पादन पुरवठादारांपैकी एक म्हणून, वेटेक सेमीकंडक्टर ग्राहकांना उच्च-गुणवत्तेचे टीएसी कोटिंग सानुकूलित भाग प्रदान करण्यास सक्षम आहे. एसआयसी सिंगल क्रिस्टलच्या पीव्हीटी ग्रोथसाठी टीएसी कोटेड रिंग वेटेक सेमीकंडक्टरच्या सर्वात थकबाकी आणि परिपक्व उत्पादनांपैकी एक आहे. हे एसआयसी क्रिस्टल प्रक्रियेच्या पीव्हीटी वाढीमध्ये महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते आणि ग्राहकांना उच्च-गुणवत्तेच्या एसआयसी क्रिस्टल्स वाढविण्यात मदत करू शकते. आपल्या चौकशीची अपेक्षा आहे.

सध्या, एसआयसी पॉवर डिव्हाइस अधिकाधिक लोकप्रिय होत आहेत, म्हणून संबंधित सेमीकंडक्टर डिव्हाइस फॅब्रिकेशन अधिक महत्वाचे आहे आणि एसआयसीचे गुणधर्म सुधारणे आवश्यक आहे. एसआयसी हा सेमीकंडक्टरमधील सब्सट्रेट आहे. एसआयसी डिव्हाइससाठी एक अपरिहार्य कच्चा माल म्हणून, एसआयसी क्रिस्टल कार्यक्षमतेने कसे तयार करावे हे एक महत्त्वाचे विषय आहे. पीव्हीटी (भौतिक वाष्प वाहतूक) पद्धतीने वाढत्या एसआयसी क्रिस्टलच्या प्रक्रियेत, एसआयसी सिंगल क्रिस्टलच्या पीव्हीटी ग्रोथसाठी वेटेक सेमीकंडक्टरची टीएसी लेपित रिंग अपरिहार्य आणि महत्वाची भूमिका बजावते. काळजीपूर्वक डिझाइन आणि मॅन्युफॅक्चरिंगनंतर, ही टीएसी लेपित रिंग आपल्याला उत्कृष्ट कार्यक्षमता आणि विश्वासार्हता प्रदान करते, कार्यक्षमता आणि स्थिरता सुनिश्चित करतेएसआयसी क्रिस्टल ग्रोथप्रक्रिया.

टॅन्टलम कार्बाईड (टीएसी) कोटिंगने त्याच्या 3880 डिग्री सेल्सियस पर्यंतच्या उच्च वितळण्याच्या बिंदू, उत्कृष्ट यांत्रिक सामर्थ्य, कठोरता आणि थर्मल शॉकला प्रतिकार केल्यामुळे लक्ष वेधले गेले आहे, ज्यामुळे उच्च तापमान आवश्यकता असलेल्या कंपाऊंड सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी प्रक्रियेस एक आकर्षक पर्याय बनला आहे.

टीएसी कोटेड रिंगउत्पादन वैशिष्ट्ये

(I) ग्रेफाइट मटेरियलसह उच्च-गुणवत्तेची टीएसी कोटिंग मटेरियल बाँडिंग

एसआयसी सिंगल क्रिस्टलच्या पीव्हीटी वाढीसाठी टीएसी लेपित रिंग उच्च-गुणवत्तेच्या एसजीएल ग्रेफाइट मटेरियलचा सब्सट्रेट म्हणून, त्यात चांगली थर्मल चालकता आणि अत्यंत उच्च सामग्री स्थिरता आहे. सीव्हीडी टीएसी कोटिंग एक सच्छिद्र पृष्ठभाग प्रदान करते. त्याच वेळी, उच्च-शुद्धता सीव्हीडी टीएसी (टॅन्टलम कार्बाईड) कोटिंग सामग्री म्हणून वापरली जाते, ज्यामध्ये अत्यंत कठोरपणा, वितळणारा बिंदू आणि रासायनिक स्थिरता आहे. टीएसी कोटिंग उच्च तापमानात उत्कृष्ट कामगिरी राखू शकते (सामान्यत: 2000 ℃ किंवा त्याहून अधिक) आणि पीव्हीटी पद्धतीने एसआयसी क्रिस्टल वाढीचे अत्यंत संक्षारक वातावरण, दरम्यान रासायनिक प्रतिक्रिया आणि शारीरिक धूप प्रभावीपणे प्रतिकार करतेएसआयसी वाढ, कोटिंग रिंगचे सर्व्हिस लाइफ मोठ्या प्रमाणात वाढवा आणि उपकरणे देखभाल खर्च आणि डाउनटाइम कमी करा.


TaC coating with high crystallinity and excellent uniformity 10 μmTaC coating with high crystallinity and excellent uniformity 300 μm

10 µm 300 µm

टीएसी कोटिंगउच्च क्रिस्टलिटी आणि उत्कृष्ट एकरूपतेसह

(Ii) अचूक कोटिंग प्रक्रिया

वेटेक सेमीकंडक्टरचे प्रगत सीव्हीडी कोटिंग प्रक्रिया तंत्रज्ञान हे सुनिश्चित करते की टीएसी कोटिंग रिंगच्या पृष्ठभागावर समान आणि दाटपणे झाकलेले आहे. क्रिस्टल ग्रोथ प्रक्रियेदरम्यान तापमान क्षेत्र आणि हवेच्या प्रवाह क्षेत्राचे एकसमान वितरण सुनिश्चित करून कोटिंगची जाडी तंतोतंत um 5um वर नियंत्रित केली जाऊ शकते, जी एसआयसी क्रिस्टल्सच्या उच्च-गुणवत्तेच्या आणि मोठ्या आकाराच्या वाढीस अनुकूल आहे.

सामान्य कोटिंगची जाडी 35 ± 5um आहे, आम्ही आपल्या आवश्यकतेनुसार ते सानुकूलित करू शकतो.

(Iii) उत्कृष्ट उच्च-तापमान स्थिरता आणि थर्मल शॉक प्रतिरोध

पीव्हीटी पद्धतीच्या उच्च-तापमान वातावरणात, एसआयसी सिंगल क्रिस्टलच्या पीव्हीटी ग्रोथसाठी टीएसी कोटेड रिंग उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता दर्शविते.

एच 2, एनएच 3, एसआयएच 4, एसआयचा प्रतिकार

प्रक्रियेच्या दूषित होण्यापासून रोखण्यासाठी अल्ट्रा-उच्च शुद्धता

वेगवान ऑपरेशन सायकलसाठी थर्मल शॉकचा उच्च प्रतिकार

हे विकृती, क्रॅकिंग किंवा कोटिंग शेडिंगशिवाय दीर्घकालीन उच्च-तापमान बेकिंगचा प्रतिकार करू शकते. एसआयसी क्रिस्टल्सच्या वाढीदरम्यान, तापमान वारंवार बदलते. एसआयसी सिंगल क्रिस्टलच्या पीव्हीटी ग्रोथसाठी वेटेक सेमीकंडक्टरच्या टीएसी लेपित रिंगमध्ये उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिरोध आहे आणि क्रॅकिंग किंवा नुकसान न करता तापमानात वेगवान बदलांशी त्वरेने परिस्थितीशी जुळवून घेऊ शकते. पुढे उत्पादन कार्यक्षमता आणि उत्पादनाची गुणवत्ता सुधारित करा.



वेटेक सेमीकंडक्टरला हे चांगले ठाऊक आहे की वेगवेगळ्या ग्राहकांकडे भिन्न पीव्हीटी एसआयसी क्रिस्टल ग्रोथ उपकरणे आणि प्रक्रिया आहेत, म्हणून एसआयसी सिंगल क्रिस्टलच्या पीव्हीटी ग्रोथसाठी टीएसी लेपित रिंगसाठी सानुकूलित सेवा प्रदान करतात. ते रिंग बॉडीचे आकाराचे वैशिष्ट्य असो, कोटिंगची जाडी किंवा विशेष कार्यक्षमता आवश्यकता असो, उत्पादन आपल्या उपकरणे आणि प्रक्रियेशी उत्तम प्रकारे जुळते, आपल्याला सर्वात अनुकूलित समाधान प्रदान करते हे सुनिश्चित करण्यासाठी आम्ही आपल्या आवश्यकतानुसार ते तयार करू शकतो.


टीएसी कोटिंगचे भौतिक गुणधर्म

टीएसी कोटिंगचे भौतिक गुणधर्म
घनता
14.3 (जी/सेमी)
विशिष्ट एमिसिव्हिटी
0.3
औष्णिक विस्तार गुणांक
6.3*10-6/के
टीएसी कोटिंग कडकपणा (एचके)
2000 एचके
प्रतिकार
1 × 10-5ओहम*सेमी
थर्मल स्थिरता
<2500 ℃
ग्रेफाइट आकार बदल
-10 ~ -20um
कोटिंग जाडी
≥20UM ठराविक मूल्य (35um ± 10um)
औष्णिक चालकता
9-22 (डब्ल्यू/एम · के)

हे सेमीकंडक्टरटीएसी कोटेड रिंग उत्पादन दुकाने

SiC Coating Wafer CarrierPVT growth of SiC single crystal process equipmentCVD SiC Focus RingOxidation and Diffusion Furnace Equipment

हॉट टॅग्ज: एसआयसी सिंगल क्रिस्टलच्या पीव्हीटी वाढीसाठी टीएसी कोटेड रिंग
चौकशी पाठवा
संपर्क माहिती
  • पत्ता

    वांगडा रोड, झियांग स्ट्रीट, वुई काउंटी, जिन्हुआ सिटी, झेजियांग प्रांत, चीन

  • दूरध्वनी/

    +86-18069220752

  • ई-मेल

    anny@veteksemi.com

सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग, टँटलम कार्बाइड कोटिंग, विशेष ग्रेफाइट किंवा किंमत सूचीबद्दल चौकशीसाठी, कृपया आम्हाला तुमचा ईमेल पाठवा आणि आम्ही 24 तासांच्या आत संपर्कात राहू.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept