टँटलम कार्बाईड लेपित रिंग

वेटेक सेमीकंडक्टर टँटलम कार्बाईड लेपित रिंग तयार केली आहेग्रेफाइटआणि टॅन्टलम कार्बाईडसह लेपित, एक संयोजन जे उत्कृष्ट कामगिरी आणि दीर्घायुष्य सुनिश्चित करण्यासाठी दोन्ही सामग्रीच्या उत्कृष्ट गुणधर्मांचा फायदा घेते. 

टॅन्टलम कार्बाईड कोटिंग रिंगवरील टीएसी कोटिंग हे सुनिश्चित करते की ते एसआयसी क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेसेसच्या प्रतिक्रियात्मक वातावरणामध्ये रासायनिकदृष्ट्या जड राहते, ज्यामध्ये बहुतेकदा हायड्रोजन, आर्गॉन आणि नायट्रोजन सारख्या वायूंचा समावेश असतो. वाढत्या क्रिस्टलच्या कोणत्याही दूषित होण्यापासून रोखण्यासाठी ही रासायनिक जडत्व आवश्यक आहे, ज्यामुळे अंतिम सेमीकंडक्टर उत्पादनांचे दोष आणि कमी कामगिरी होऊ शकते. याव्यतिरिक्त, टीएसी कोटिंगद्वारे प्रदान केलेली थर्मल स्थिरता एसआयसी क्रिस्टल वाढीसाठी आवश्यक असलेल्या उच्च तापमानात टॅन्टलम कार्बाईड कोटिंग रिंगला प्रभावीपणे कार्य करण्यास अनुमती देते, सामान्यत: 2000 डिग्री सेल्सियसपेक्षा जास्त.

प्लाझ्मा फवारणी, सीव्हीडी पद्धत आणि स्लरी सिन्टरिंग पद्धतीने दाट आणि एकसमान टीएसी कोटिंग तयार केले जाऊ शकते, परंतु प्लाझ्मा फवारणी पद्धतीमध्ये उच्च उपकरणे आवश्यकता आणि टीए 2 सी तयार करणे आहे. स्लरी सिन्टरिंग पद्धतीने संमिश्र कोटिंग तयार करणे कठीण आहे आणि कोटिंगचा थर्मल शॉक प्रतिरोध कमी आहे. सीव्हीडी पद्धतीने तयार केलेल्या कोटिंगमध्ये नियंत्रणीय रचना आणि सर्वोच्च घनता आहे, जी सध्या एक सामान्य टँटलम कार्बाईड कोटिंग पद्धत आहे.

टीएसीचे यांत्रिक गुणधर्म टॅन्टलम कार्बाईड कोटिंग रिंगवर पोशाख आणि फाडतात. क्रिस्टल ग्रोथ प्रक्रियेच्या पुनरावृत्तीच्या स्वरूपामुळे हे महत्त्वपूर्ण आहे, जे वारंवार थर्मल चक्र आणि यांत्रिक ताणतणावासाठी मार्गदर्शक रिंग उघडकीस आणते. टीएसीची कठोरता आणि पोशाख प्रतिकार हे सुनिश्चित करते की टीएसी लेपित रिंग दीर्घ कालावधीत त्याची स्ट्रक्चरल अखंडता आणि अचूक परिमाण राखते, वारंवार बदलण्याची आवश्यकता कमी करते आणि उत्पादन प्रक्रियेतील डाउनटाइम कमी करते. 

टॅन्टलम कार्बाईड कोटिंगची बरीच घनता 14.3 ग्रॅम/सेमी 3, एमिसिव्हिटी 0.3, कडकपणा 2000 एचके आहे, वितळणारा बिंदू 3950 चे आहे आणि अर्ध्या पिढीतील तिसर्‍या पिढीसाठी सामान्य सामग्री म्हणून चांगली भौतिक गुणधर्म निवडले गेले आहेत.

याव्यतिरिक्त, टॅन्टलम कार्बाईड कोटिंग रिंगमधील ग्रेफाइट आणि टीएसीचे संयोजन क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेसमध्ये थर्मल व्यवस्थापनास अनुकूल करते. ग्रेफाइटची उच्च थर्मल चालकता कार्यक्षमतेने उष्णतेचे वितरण करते, हॉटस्पॉट्स प्रतिबंधित करते आणि एकसमान क्रिस्टल वाढीस प्रोत्साहन देते. दरम्यान, टीएसी कोटिंग थर्मल अडथळा म्हणून काम करते, ज्यामुळे ग्रेफाइट कोरला उच्च तापमान आणि प्रतिक्रियाशील वायूंच्या थेट प्रदर्शनापासून संरक्षण होते. कोर आणि कोटिंग सामग्रीमधील या समन्वयाचा परिणाम मार्गदर्शक रिंग होतो जो केवळ कठोर परिस्थितीचा प्रतिकार करत नाहीएसआयसी क्रिस्टल ग्रोथपरंतु प्रक्रियेची एकूण कार्यक्षमता आणि गुणवत्ता देखील वाढवते.

वेटेक सेमीकंडक्टर टॅन्टलम कार्बाईड लेपित रिंग सेमीकंडक्टर उद्योगातील एक आवश्यक घटक आहे, विशेषत: वाढीसाठी डिझाइन केलेलेसिलिकॉन कार्बाईड क्रिस्टल्स? उच्च-तापमान, उच्च-तणाव वातावरणात अपवादात्मक कामगिरी करण्यासाठी त्याचे डिझाइन ग्रेफाइट आणि टॅन्टलम कार्बाईडच्या सामर्थ्याने वापरते. टीएसी कोटिंग रासायनिक जडत्व, यांत्रिक टिकाऊपणा आणि थर्मल स्थिरता सुनिश्चित करते, हे सर्व उच्च-गुणवत्तेच्या एसआयसी क्रिस्टल्स तयार करण्यासाठी गंभीर आहेत. अत्यंत परिस्थितीत त्याची अखंडता आणि कार्यक्षमता राखून, रिंग एसआयसी क्रिस्टल्सच्या कार्यक्षम आणि दोष-मुक्त वाढीस समर्थन देते, ज्यामुळे उच्च-शक्ती आणि उच्च-वारंवारता सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या प्रगतीस हातभार लागतो.

वेटेक सेमीकंडक्टर एक अग्रगण्य निर्माता आणि पुरवठादार आहेटँटलम कार्बाईड कोटिंग, सिलिकॉन कार्बाईड कोटिंगआणिविशेष ग्रेफाइटचीनमध्ये. आम्ही सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी प्रगत तंत्रज्ञान आणि उत्पादनांचे समाधान प्रदान करण्यास बराच काळ वचनबद्ध आहोत आणि चीनमधील आपला दीर्घकालीन भागीदार होण्याची मनापासून आशा आहे.

टँटलम कार्बाइड (टीएसी) कोटिंगमायक्रोस्कोपिक क्रॉस-सेक्शनवर：

च्या विहंगावलोकनसेमीकंडक्टर चिप एपिटॅक्सी इंडस्ट्री चेन：