टीएसी कोटिंग रिंग

VeTek सेमीकंडक्टरची TaC कोटिंग रिंग उच्च-गुणवत्तेच्या ग्रेफाइटपासून तयार केलेली आहे आणि टँटलम कार्बाइड (TaC) सह लेपित आहे, जे त्याच्या उत्कृष्ट गुणधर्मांसाठी ओळखले जाते, सेमीकंडक्टर वेफर प्रक्रियेमध्ये एक अपरिहार्य घटक आहे.

VeTek सेमीकंडक्टर TaC कोटिंग रिंगची मुख्य वैशिष्ट्ये आणि फायदे:

●  उच्च थर्मल स्थिरता: टँटलम कार्बाइड कोटिंग रिंगचे एक वैशिष्ट्य म्हणजे उच्च तापमान सहन करण्याची क्षमता, सेमीकंडक्टर एचिंगमधील एक महत्त्वाचा घटक. SiC एचिंग प्रक्रियेमध्ये भारदस्त तापमान आणि प्रतिक्रियाशील वायूंचा समावेश होतो आणि टँटलम कार्बाइड कोटिंग हे सुनिश्चित करते की रिंग स्थिर राहते आणि या कठोर परिस्थितीतही त्याची संरचनात्मक अखंडता टिकवून ठेवते. हे थर्मल लवचिकता हे सुनिश्चित करते की घटक विस्तारित कालावधीत चांगल्या प्रकारे कार्य करत राहतील.

●  वर्धित यांत्रिक सामर्थ्य: उच्च-शक्तीचे ग्रेफाइट आणि TaC कोटिंगच्या संयोजनाचा परिणाम सुधारित यांत्रिक गुणधर्मांसह घटक बनतो, ज्यामुळे TaC कोटेड रिंग झीज होण्यास अत्यंत प्रतिरोधक बनते. SiC वेफर्सला जागी घट्ट धरून ठेवण्यासाठी, अचूक कोरीव काम सुनिश्चित करण्यासाठी आणि प्रक्रियेदरम्यान कोणतीही विकृती टाळण्यासाठी तिची यांत्रिक शक्ती महत्त्वपूर्ण आहे.

● रासायनिक गंज प्रतिकार: एसआयसी एचिंग सारख्या सेमीकंडक्टर प्रक्रियेत, घटक बहुतेक वेळा आक्रमक रसायने आणि प्रतिक्रियाशील वायूंच्या संपर्कात असतात. टॅन्टलम कार्बाईड कोटिंग गंजविरूद्ध उत्कृष्ट संरक्षण प्रदान करते, रिंगचे उपयुक्त जीवन लक्षणीय प्रमाणात वाढवते आणि वारंवार बदलण्याची आवश्यकता कमी करते. हा प्रतिकार विशेषत: एचिंग प्रक्रियेमध्ये महत्त्वपूर्ण आहे, जेथे घटक रासायनिक प्रतिक्रियाशील पदार्थांशी सतत संपर्कात असतात.

वर्धित कामगिरीसाठी सुपीरियर कोटिटॅक कोटिंग्ज: ग्रेफाइट रिंगवरील टँटलम कार्बाइड कोटिंग एक मजबूत पृष्ठभाग प्रदान करते ज्यामुळे घटकाची एकूण कार्यक्षमता वाढते. टँटलम कार्बाइड त्याच्या उच्च वितळण्याच्या बिंदूसाठी (अंदाजे 3,880°C) आणि रासायनिक अभिक्रियांना उत्कृष्ट प्रतिकार करण्यासाठी प्रसिद्ध आहे, विशेषत: सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान सामान्यत: आक्रमक वातावरणात सामोरे जावे लागते. हे टँटलम कार्बाइड कोटिंग उत्पादनाच्या आयुर्मानात लक्षणीय सुधारणा करते, अनकोटेड ग्रेफाइट रिंगच्या तुलनेत उत्कृष्ट टिकाऊपणा प्रदान करते.

●  वर्धित यांत्रिक सामर्थ्य: उच्च-शक्तीचे ग्रेफाइट आणि TaC कोटिंगच्या संयोजनाचा परिणाम सुधारित यांत्रिक गुणधर्मांसह घटक बनतो, ज्यामुळे TaC कोटेड रिंग झीज होण्यास अत्यंत प्रतिरोधक बनते. SiC वेफर्सला जागी घट्ट धरून ठेवण्यासाठी, अचूक कोरीव काम सुनिश्चित करण्यासाठी आणि प्रक्रियेदरम्यान कोणतीही विकृती टाळण्यासाठी तिची यांत्रिक शक्ती महत्त्वपूर्ण आहे.

चीनमधील अग्रगण्य टीएसी कोटिंग रिंग पुरवठादार, निर्माता आणि कारखाना म्हणून, वेटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग उद्योगासाठी प्रगत टीएसी कोटिंग रिंग उत्पादने आणि तांत्रिक उपाय प्रदान करण्यास वचनबद्ध आहे आणि सानुकूलित उत्पादन सेवांना समर्थन देते. वेटेकेमी चीनमधील आपला दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी प्रामाणिकपणे उत्सुक आहे.

टीएसी कोटिंगचे भौतिक गुणधर्म

वेटेक सेमीकंडक्टरची टीएसी कोटिंग रिंग प्रॉडक्ट शॉप्स