एपीआय समर्थक

वेटेक सेमीकंडक्टर हा एक व्यावसायिक नेता आहे चीन ईपीआय हाती, एएलडी प्लॅनेटरी टुगोर आणि टीएसी लेपित ग्रेफाइट सपोर्ट निर्माता. आणि आमचा ईपीआय समर्थन हा एक महत्त्वाचा घटक आहेएपिटॅक्सियल वाढसेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेत. त्याचे मुख्य कार्य वेफरला समर्थन देणे आणि गरम करणे आहे जेणेकरून उच्च-गुणवत्तेच्या एपिटॅक्सियल लेयरला वेफर पृष्ठभागावर एकसारखेपणाने घेतले जाऊ शकते.

वेटेक सेमीकंडक्टर्सचे एपीआय सासेप्टर्स सहसा उच्च-शुद्धता ग्रेफाइटचे बनलेले असतात आणि सिलिकॉन कार्बाईड (एसआयसी) च्या थरासह लेपित असतात.या डिझाइनचे खालील मुख्य फायदे आहेत:

● उच्च तापमान स्थिरता: एपीआय संवेदनशील उच्च तापमान वातावरणात स्थिर राहू शकते, ज्यामुळे एपिटॅक्सियल लेयरची एकसमान वाढ होते.

● गंज प्रतिकार: एसआयसी कोटिंगमध्ये उत्कृष्ट गंज प्रतिकार आहे आणि ट्रेच्या सेवा जीवनाचा विस्तार करून रासायनिक वायूंच्या धूपाचा प्रतिकार करू शकतो.

● थर्मल चालकता: एसआयसी मटेरियलची उच्च थर्मल चालकता हीटिंग दरम्यान वेफरचे एकसारखे तापमान वितरण सुनिश्चित करते, ज्यामुळे एपिटॅक्सियल लेयरची गुणवत्ता सुधारते.

● थर्मल विस्तार गुणांक जुळणी: एसआयसीचे थर्मल विस्तार गुणांक थर्मल विस्तार आणि आकुंचनामुळे कोटिंग शेडिंगची समस्या टाळणे, ग्रेफाइट प्रमाणेच आहे.

मूलभूत भौतिक गुणधर्मसीव्हीडी एसआयसी कोटिंग:

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग प्रॉडक्शन शॉप:

सेमीकंडक्टर चिप एपिटॅक्सी इंडस्ट्री चेनचे विहंगावलोकन: