सिलिकॉन कार्बाईड एपिटॅक्सी

उच्च-गुणवत्तेच्या सिलिकॉन कार्बाईड एपिटॅक्सची तयारी प्रगत तंत्रज्ञान आणि उपकरणे आणि उपकरणे उपकरणे यावर अवलंबून असते. सध्या, सर्वाधिक प्रमाणात वापरल्या जाणार्‍या सिलिकॉन कार्बाईड एपिटॅक्सी ग्रोथ पद्धत म्हणजे रासायनिक वाष्प जमा (सीव्हीडी). यात एपिटॅक्सियल फिल्म जाडी आणि डोपिंग एकाग्रता, कमी दोष, मध्यम वाढीचा दर, स्वयंचलित प्रक्रिया नियंत्रण इत्यादींचे अचूक नियंत्रण आहे आणि हे एक विश्वसनीय तंत्रज्ञान आहे जे व्यावसायिकपणे यशस्वीरित्या लागू केले गेले आहे.

सिलिकॉन कार्बाईड सीव्हीडी एपिटॅक्सी सामान्यत: गरम भिंत किंवा उबदार भिंत सीव्हीडी उपकरणे स्वीकारते, जे उच्च वाढीच्या तापमानाच्या स्थितीत (1500 ~ 1700 ℃), गरम भिंती किंवा उबदार भिंत सीव्हीडी, इनलेट एअर फ्लो डायरेक्शन आणि रिएक्टर पृष्ठभागाच्या रिअल चेंबरच्या संबंधानुसार, फूट पाडण्याच्या रिएक्टरच्या रिअलिंगच्या रिअलिंगच्या संबंधानुसार, एपिटॅक्सी लेयर 4 एच क्रिस्टलीय एसआयसीची सुरूवात सुनिश्चित करते.

एसआयसी एपिटॅक्सियल फर्नेसच्या गुणवत्तेसाठी तीन मुख्य निर्देशक आहेत, प्रथम म्हणजे एपिटॅक्सियल ग्रोथ परफॉरमन्स, ज्यात जाडी एकरूपता, डोपिंग एकसारखेपणा, दोष दर आणि वाढीचा दर; दुसरे म्हणजे हीटिंग/कूलिंग रेट, जास्तीत जास्त तापमान, तापमान एकसारखेपणा यासह उपकरणांचे तापमान कार्यक्षमता; अखेरीस, एकाच युनिटची किंमत आणि क्षमता यासह स्वतः उपकरणांची किंमत कामगिरी.

तीन प्रकारचे सिलिकॉन कार्बाईड एपिटॅक्सियल ग्रोथ फर्नेस आणि कोर अ‍ॅक्सेसरीज फरक

हॉट वॉल क्षैतिज सीव्हीडी (एलपीई कंपनीचे वैशिष्ट्यपूर्ण मॉडेल पीई 1 ओ 6), उबदार वॉल प्लॅनेटरी सीव्हीडी (टिपिकल मॉडेल आयक्सट्रॉन जी 5 डब्ल्यूडब्ल्यूसी/जी 10) आणि अर्ध-हॉट वॉल सीव्हीडी (नुफ्लेअर कंपनीच्या एपिरेवोस 6 द्वारे प्रतिनिधित्व केलेले) या स्टेजमध्ये ज्येष्ठ अनुप्रयोगांमध्ये अनुप्रयोग आहेत. तीन तांत्रिक उपकरणांमध्ये त्यांची स्वतःची वैशिष्ट्ये देखील आहेत आणि मागणीनुसार त्यांची निवड केली जाऊ शकते. त्यांची रचना खालीलप्रमाणे दर्शविली आहे:

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग नोजल

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग दरम्यान सिलिकॉन कार्बाईड मटेरियल जमा करण्यासाठी एलपीई एसआयसी एपिटॅक्सी प्रक्रियेमध्ये सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग नोजल हे महत्त्वपूर्ण घटक आहेत. कठोर प्रक्रिया वातावरणात स्थिरता सुनिश्चित करण्यासाठी हे नोजल सामान्यत: उच्च-तापमान आणि रासायनिक स्थिर सिलिकॉन कार्बाइड सामग्रीचे बनलेले असतात. एकसमान जमा करण्यासाठी डिझाइन केलेले, ते सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगांमध्ये वाढलेल्या एपिटॅक्सियल थरांची गुणवत्ता आणि एकसारखेपणा नियंत्रित करण्यात महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावतात. आपल्या पुढील चौकशीचे स्वागत आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग संरक्षक

वेटेक सेमीकंडक्टरचा सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग प्रोटेक्टर वापरलेला एलपीई एसआयसी एपिटॅक्सी आहे, "एलपीई" हा शब्द सामान्यत: कमी दाबाच्या रासायनिक वाष्प जमा (एलपीसीव्हीडी) मध्ये कमी दाब एपिटॅक्सी (एलपीई) संदर्भित करतो. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये, एलपीई एक सिंगल क्रिस्टल पातळ चित्रपट वाढविण्यासाठी एक महत्त्वपूर्ण प्रक्रिया तंत्रज्ञान आहे, बहुतेकदा सिलिकॉन एपिटॅक्सियल थर किंवा इतर सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल लेयर्स वाढविण्यासाठी वापरले जाते. अधिक प्रश्नांसाठी आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच नाही.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

SiC लेपित पेडेस्टल

वेटेक सेमीकंडक्टर CVD SiC कोटिंग, ग्रेफाइटवर TaC कोटिंग आणि सिलिकॉन कार्बाइड मटेरियल तयार करण्यात व्यावसायिक आहे. आम्ही एसआयसी कोटेड पेडेस्टल, वेफर कॅरिअर, वेफर चक, वेफर कॅरिअर ट्रे, प्लॅनेटरी डिस्क आणि यांसारखी OEM आणि ODM उत्पादने प्रदान करतो. 1000 ग्रेड क्लीन रूम आणि शुद्धीकरण उपकरणासह, आम्ही तुम्हाला 5ppm पेक्षा कमी अशुद्धता असलेली उत्पादने प्रदान करू शकतो. सुनावणीसाठी उत्सुक आहोत लवकरच तुमच्याकडून.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

एसआयसी कोटिंग इनलेट रिंग

व्हेटेक सेमीकंडक्टर विशिष्ट गरजांनुसार तयार केलेल्या SiC कोटिंग इनलेट रिंगसाठी बेस्पोक डिझाइन तयार करण्यासाठी क्लायंटशी जवळून सहकार्य करण्यात उत्कृष्ट आहे. या SiC कोटिंग इनलेट रिंग CVD SiC उपकरणे आणि सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी सारख्या विविध अनुप्रयोगांसाठी काळजीपूर्वक तयार केल्या आहेत. तयार केलेल्या SiC कोटिंग इनलेट रिंग सोल्यूशन्ससाठी, वैयक्तिक सहाय्यासाठी वेटेक सेमीकंडक्टरशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

प्री-हीट रिंग

प्री-हीट रिंगचा वापर सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी प्रक्रियेमध्ये वेफर्सला प्रीहीट करण्यासाठी आणि वेफर्सचे तापमान अधिक स्थिर आणि एकसमान बनविण्यासाठी केला जातो, जे एपिटॅक्सी थरांच्या उच्च-गुणवत्तेच्या वाढीसाठी खूप महत्त्व आहे. वेटेक सेमीकंडक्टर उच्च तापमानात अशुद्धतेचे अस्थिरता टाळण्यासाठी या उत्पादनाच्या शुद्धतेवर कठोरपणे नियंत्रण ठेवते. आमच्याशी पुढील चर्चा होईल.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

वेफर लिफ्ट पिन

VeTek सेमीकंडक्टर हा चीनमधील अग्रगण्य EPI वेफर लिफ्ट पिन उत्पादक आणि नवोदित आहे. आम्ही अनेक वर्षांपासून ग्रेफाइटच्या पृष्ठभागावर SiC कोटिंगमध्ये विशेष आहोत. आम्ही Epi प्रक्रियेसाठी EPI वेफर लिफ्ट पिन ऑफर करतो. उच्च गुणवत्ता आणि स्पर्धात्मक किंमतीसह, आम्ही चीनमधील आमच्या कारखान्याला भेट देण्यासाठी आपले स्वागत करतो.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

Veteksemicon silicon carbide epitaxy is your advanced procurement option for producing high-performance 4H-SiC and 6H-SiC epitaxial layers used in wide bandgap semiconductor devices. SiC epitaxy enables the formation of defect-controlled, dopant-engineered epitaxial layers critical for high-power, high-frequency, and high-temperature electronic devices.

Our offering includes specialized components such as SiC epitaxial susceptors, SiC-coated wafer holders, and epitaxy process rings, tailored for use in horizontal and vertical MOCVD and CVD reactors, including platforms by Veeco, Aixtron, and LPE. Veteksemicon’s parts are coated with high-purity CVD SiC, ensuring chemical compatibility, temperature uniformity, and minimal contamination during epitaxial layer growth.

Silicon carbide epitaxy is essential for fabricating power MOSFETs, IGBTs, and RF components, particularly in automotive, energy, and aerospace applications. The epitaxial process requires extremely precise control over doping concentration, layer thickness, and crystallographic orientation, which is why substrate compatibility and thermal stability of reactor parts are critical.

Relevant terms in this category include 4H-SiC epitaxial wafer, low-defect-density epitaxy, SiC epi-ready substrates, and wide bandgap semiconductors. Veteksemicon supports both research-scale and volume production needs with stable, repeatable, and thermally robust component solutions.

To learn more about our silicon carbide epitaxy support materials, visit the Veteksemicon product detail page or contact us for detailed specifications and engineering support.

चीनमधील एक व्यावसायिक सिलिकॉन कार्बाईड एपिटॅक्सी निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून आमच्याकडे आमचा स्वतःचा कारखाना आहे. आपल्या प्रदेशाच्या विशिष्ट गरजा भागविण्यासाठी आपल्याला सानुकूलित सेवांची आवश्यकता असल्यास किंवा चीनमध्ये बनविलेले प्रगत आणि टिकाऊ {77 brook खरेदी करायचे असल्यास आपण आम्हाला एक संदेश सोडू शकता.