सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी

उच्च-गुणवत्तेच्या सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सीची तयारी प्रगत तंत्रज्ञान आणि उपकरणे आणि उपकरणे उपकरणे यावर अवलंबून असते. सध्या, सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी ग्रोथ पद्धत सर्वात जास्त वापरली जाणारी रासायनिक वाष्प जमा करणे (CVD) आहे. यात एपिटॅक्सियल फिल्मची जाडी आणि डोपिंग एकाग्रता, कमी दोष, मध्यम वाढीचा दर, स्वयंचलित प्रक्रिया नियंत्रण इत्यादींचे अचूक नियंत्रण करण्याचे फायदे आहेत आणि हे एक विश्वासार्ह तंत्रज्ञान आहे जे यशस्वीरित्या व्यावसायिकरित्या लागू केले गेले आहे.

सिलिकॉन कार्बाइड सीव्हीडी एपिटॅक्सी सामान्यत: हॉट वॉल किंवा उबदार वॉल सीव्हीडी उपकरणे स्वीकारते, जे उच्च वाढ तापमान परिस्थितीत (1500 ~ 1700℃), गरम भिंत किंवा उबदार वॉल CVD च्या विकासाच्या वर्षांनंतर एपिटॅक्सी लेयर 4H क्रिस्टलीय SiC चालू ठेवण्याची खात्री देते. इनलेट एअर फ्लो दिशा आणि सब्सट्रेट पृष्ठभाग यांच्यातील संबंध, प्रतिक्रिया कक्ष क्षैतिज रचना अणुभट्टी आणि अनुलंब संरचना अणुभट्टीमध्ये विभागली जाऊ शकते.

एसआयसी एपिटॅक्सियल फर्नेसच्या गुणवत्तेसाठी तीन मुख्य निर्देशक आहेत, पहिले एपिटॅक्सियल वाढ कार्यप्रदर्शन आहे, ज्यामध्ये जाडी एकसमानता, डोपिंग एकसमानता, दोष दर आणि वाढीचा दर समाविष्ट आहे; दुसरे म्हणजे उपकरणांचे स्वतःचे तापमान कार्यप्रदर्शन, ज्यामध्ये हीटिंग/कूलिंग रेट, कमाल तापमान, तापमान एकसारखेपणा समाविष्ट आहे; शेवटी, एका युनिटची किंमत आणि क्षमता यासह उपकरणाची स्वतःची किंमत कामगिरी.

तीन प्रकारचे सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सियल ग्रोथ फर्नेस आणि कोर ॲक्सेसरीज फरक

हॉट वॉल क्षैतिज CVD (LPE कंपनीचे ठराविक मॉडेल PE1O6), उबदार वॉल प्लॅनेटरी CVD (नमुनेदार मॉडेल Aixtron G5WWC/G10) आणि अर्ध-हॉट वॉल CVD (नुफ्लेअर कंपनीच्या EPIREVOS6 द्वारे प्रस्तुत) ही मुख्य प्रवाहातील एपिटॅक्सियल उपकरणे आहेत जी वास्तविक आहेत. या टप्प्यावर व्यावसायिक अनुप्रयोगांमध्ये. तीन तांत्रिक उपकरणांची स्वतःची वैशिष्ट्ये देखील आहेत आणि मागणीनुसार निवडली जाऊ शकतात. त्यांची रचना खालीलप्रमाणे दर्शविली आहे:

संबंधित मुख्य घटक खालीलप्रमाणे आहेत:

(a) गरम भिंतीचा आडवा प्रकार कोर भाग- हाफमून पार्ट्स असतात

डाउनस्ट्रीम इन्सुलेशन

मुख्य इन्सुलेशन वरच्या

वरचा अर्धचंद्र

अपस्ट्रीम इन्सुलेशन

संक्रमण तुकडा 2

संक्रमण तुकडा 1

बाह्य हवा नोजल

टॅपर्ड स्नॉर्कल

बाह्य आर्गॉन गॅस नोजल

आर्गॉन गॅस नोजल

वेफर सपोर्ट प्लेट

मध्यभागी पिन

केंद्रीय रक्षक

डाउनस्ट्रीम डाव्या संरक्षण कव्हर

डाउनस्ट्रीम उजवे संरक्षण कव्हर

अपस्ट्रीम डाव्या संरक्षण कव्हर

अपस्ट्रीम उजव्या संरक्षण कव्हर

बाजूची भिंत

ग्रेफाइट रिंग

संरक्षक वाटले

आधार वाटला

संपर्क ब्लॉक

गॅस आउटलेट सिलेंडर

(b) उबदार भिंतीचा ग्रह प्रकार

SiC कोटिंग प्लॅनेटरी डिस्क आणि TaC लेपित प्लॅनेटरी डिस्क

नुफ्लरे (जपान): ही कंपनी दुहेरी-चेंबर उभ्या भट्टी देते जे उत्पादन वाढीसाठी योगदान देते. उपकरणांमध्ये प्रति मिनिट 1000 क्रांती पर्यंत उच्च-गती रोटेशन वैशिष्ट्यीकृत आहे, जे एपिटॅक्सियल एकरूपतेसाठी अत्यंत फायदेशीर आहे. याव्यतिरिक्त, त्याची वायुप्रवाह दिशा इतर उपकरणांपेक्षा वेगळी आहे, अनुलंब खाली असल्याने, त्यामुळे कणांची निर्मिती कमी होते आणि कणांचे थेंब वेफर्सवर पडण्याची शक्यता कमी करते. आम्ही या उपकरणासाठी कोर SiC कोटेड ग्रेफाइट घटक प्रदान करतो.

SiC epitaxial उपकरणे घटकांचा पुरवठादार म्हणून, VeTek Semiconductor ग्राहकांना SiC epitaxy च्या यशस्वी अंमलबजावणीला समर्थन देण्यासाठी उच्च-गुणवत्तेचे कोटिंग घटक प्रदान करण्यासाठी वचनबद्ध आहे.

View as

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग नोजल

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग दरम्यान सिलिकॉन कार्बाईड मटेरियल जमा करण्यासाठी एलपीई एसआयसी एपिटॅक्सी प्रक्रियेमध्ये सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग नोजल हे महत्त्वपूर्ण घटक आहेत. कठोर प्रक्रिया वातावरणात स्थिरता सुनिश्चित करण्यासाठी हे नोजल सामान्यत: उच्च-तापमान आणि रासायनिक स्थिर सिलिकॉन कार्बाइड सामग्रीचे बनलेले असतात. एकसमान जमा करण्यासाठी डिझाइन केलेले, ते सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगांमध्ये वाढलेल्या एपिटॅक्सियल थरांची गुणवत्ता आणि एकसारखेपणा नियंत्रित करण्यात महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावतात. आपल्या पुढील चौकशीचे स्वागत आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग संरक्षक

वेटेक सेमीकंडक्टरचा सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग प्रोटेक्टर वापरलेला एलपीई एसआयसी एपिटॅक्सी आहे, "एलपीई" हा शब्द सामान्यत: कमी दाबाच्या रासायनिक वाष्प जमा (एलपीसीव्हीडी) मध्ये कमी दाब एपिटॅक्सी (एलपीई) संदर्भित करतो. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये, एलपीई एक सिंगल क्रिस्टल पातळ चित्रपट वाढविण्यासाठी एक महत्त्वपूर्ण प्रक्रिया तंत्रज्ञान आहे, बहुतेकदा सिलिकॉन एपिटॅक्सियल थर किंवा इतर सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल लेयर्स वाढविण्यासाठी वापरले जाते. अधिक प्रश्नांसाठी आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच नाही.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

SiC लेपित पेडेस्टल

वेटेक सेमीकंडक्टर CVD SiC कोटिंग, ग्रेफाइटवर TaC कोटिंग आणि सिलिकॉन कार्बाइड मटेरियल तयार करण्यात व्यावसायिक आहे. आम्ही एसआयसी कोटेड पेडेस्टल, वेफर कॅरिअर, वेफर चक, वेफर कॅरिअर ट्रे, प्लॅनेटरी डिस्क आणि यांसारखी OEM आणि ODM उत्पादने प्रदान करतो. 1000 ग्रेड क्लीन रूम आणि शुद्धीकरण उपकरणासह, आम्ही तुम्हाला 5ppm पेक्षा कमी अशुद्धता असलेली उत्पादने प्रदान करू शकतो. सुनावणीसाठी उत्सुक आहोत लवकरच तुमच्याकडून.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

एसआयसी कोटिंग इनलेट रिंग

व्हेटेक सेमीकंडक्टर विशिष्ट गरजांनुसार तयार केलेल्या SiC कोटिंग इनलेट रिंगसाठी बेस्पोक डिझाइन तयार करण्यासाठी क्लायंटशी जवळून सहकार्य करण्यात उत्कृष्ट आहे. या SiC कोटिंग इनलेट रिंग CVD SiC उपकरणे आणि सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी सारख्या विविध अनुप्रयोगांसाठी काळजीपूर्वक तयार केल्या आहेत. तयार केलेल्या SiC कोटिंग इनलेट रिंग सोल्यूशन्ससाठी, वैयक्तिक सहाय्यासाठी वेटेक सेमीकंडक्टरशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

प्री-हीट रिंग

प्री-हीट रिंगचा वापर सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी प्रक्रियेमध्ये वेफर्सला प्रीहीट करण्यासाठी आणि वेफर्सचे तापमान अधिक स्थिर आणि एकसमान बनविण्यासाठी केला जातो, जे एपिटॅक्सी थरांच्या उच्च-गुणवत्तेच्या वाढीसाठी खूप महत्त्व आहे. वेटेक सेमीकंडक्टर उच्च तापमानात अशुद्धतेचे अस्थिरता टाळण्यासाठी या उत्पादनाच्या शुद्धतेवर कठोरपणे नियंत्रण ठेवते. आमच्याशी पुढील चर्चा होईल.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

वेफर लिफ्ट पिन

VeTek सेमीकंडक्टर हा चीनमधील अग्रगण्य EPI वेफर लिफ्ट पिन उत्पादक आणि नवोदित आहे. आम्ही अनेक वर्षांपासून ग्रेफाइटच्या पृष्ठभागावर SiC कोटिंगमध्ये विशेष आहोत. आम्ही Epi प्रक्रियेसाठी EPI वेफर लिफ्ट पिन ऑफर करतो. उच्च गुणवत्ता आणि स्पर्धात्मक किंमतीसह, आम्ही चीनमधील आमच्या कारखान्याला भेट देण्यासाठी आपले स्वागत करतो.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

चीनमधील एक व्यावसायिक सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून आमच्याकडे आमचा स्वतःचा कारखाना आहे. आपल्या प्रदेशाच्या विशिष्ट गरजा भागविण्यासाठी आपल्याला सानुकूलित सेवांची आवश्यकता असल्यास किंवा चीनमध्ये बनविलेले प्रगत आणि टिकाऊ {77 brook खरेदी करायचे असल्यास आपण आम्हाला एक संदेश सोडू शकता.