सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी

उच्च-गुणवत्तेच्या सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सीची तयारी प्रगत तंत्रज्ञान आणि उपकरणे आणि उपकरणे उपकरणे यावर अवलंबून असते. सध्या, सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी ग्रोथ पद्धत सर्वात जास्त वापरली जाणारी रासायनिक वाष्प जमा करणे (CVD) आहे. यात एपिटॅक्सियल फिल्मची जाडी आणि डोपिंग एकाग्रता, कमी दोष, मध्यम वाढीचा दर, स्वयंचलित प्रक्रिया नियंत्रण इत्यादींचे अचूक नियंत्रण करण्याचे फायदे आहेत आणि हे एक विश्वासार्ह तंत्रज्ञान आहे जे यशस्वीरित्या व्यावसायिकरित्या लागू केले गेले आहे.

सिलिकॉन कार्बाइड सीव्हीडी एपिटॅक्सी सामान्यत: हॉट वॉल किंवा उबदार वॉल सीव्हीडी उपकरणे स्वीकारते, जे उच्च वाढ तापमान परिस्थितीत (1500 ~ 1700℃), गरम भिंत किंवा उबदार वॉल CVD च्या विकासाच्या वर्षांनंतर एपिटॅक्सी लेयर 4H क्रिस्टलीय SiC चालू ठेवण्याची खात्री देते. इनलेट एअर फ्लो दिशा आणि सब्सट्रेट पृष्ठभाग यांच्यातील संबंध, प्रतिक्रिया कक्ष क्षैतिज रचना अणुभट्टी आणि अनुलंब संरचना अणुभट्टीमध्ये विभागली जाऊ शकते.

एसआयसी एपिटॅक्सियल फर्नेसच्या गुणवत्तेसाठी तीन मुख्य निर्देशक आहेत, पहिले एपिटॅक्सियल वाढ कार्यप्रदर्शन आहे, ज्यामध्ये जाडी एकसमानता, डोपिंग एकसमानता, दोष दर आणि वाढीचा दर समाविष्ट आहे; दुसरे म्हणजे उपकरणांचे स्वतःचे तापमान कार्यप्रदर्शन, ज्यामध्ये हीटिंग/कूलिंग रेट, कमाल तापमान, तापमान एकसारखेपणा समाविष्ट आहे; शेवटी, एका युनिटची किंमत आणि क्षमता यासह उपकरणाची स्वतःची किंमत कामगिरी.

तीन प्रकारचे सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सियल ग्रोथ फर्नेस आणि कोर ॲक्सेसरीज फरक

हॉट वॉल क्षैतिज CVD (LPE कंपनीचे ठराविक मॉडेल PE1O6), उबदार वॉल प्लॅनेटरी CVD (नमुनेदार मॉडेल Aixtron G5WWC/G10) आणि अर्ध-हॉट वॉल CVD (नुफ्लेअर कंपनीच्या EPIREVOS6 द्वारे प्रस्तुत) ही मुख्य प्रवाहातील एपिटॅक्सियल उपकरणे आहेत जी वास्तविक आहेत. या टप्प्यावर व्यावसायिक अनुप्रयोगांमध्ये. तीन तांत्रिक उपकरणांची स्वतःची वैशिष्ट्ये देखील आहेत आणि मागणीनुसार निवडली जाऊ शकतात. त्यांची रचना खालीलप्रमाणे दर्शविली आहे:

संबंधित मुख्य घटक खालीलप्रमाणे आहेत:

(a) गरम भिंतीचा आडवा प्रकार कोर भाग- हाफमून पार्ट्स असतात

डाउनस्ट्रीम इन्सुलेशन

मुख्य इन्सुलेशन वरच्या

वरचा अर्धचंद्र

अपस्ट्रीम इन्सुलेशन

संक्रमण तुकडा 2

संक्रमण तुकडा 1

बाह्य हवा नोजल

टॅपर्ड स्नॉर्कल

बाह्य आर्गॉन गॅस नोजल

आर्गॉन गॅस नोजल

वेफर सपोर्ट प्लेट

मध्यभागी पिन

केंद्रीय रक्षक

डाउनस्ट्रीम डाव्या संरक्षण कव्हर

डाउनस्ट्रीम उजवे संरक्षण कव्हर

अपस्ट्रीम डाव्या संरक्षण कव्हर

अपस्ट्रीम उजव्या संरक्षण कव्हर

बाजूची भिंत

ग्रेफाइट रिंग

संरक्षक वाटले

आधार वाटला

संपर्क ब्लॉक

गॅस आउटलेट सिलेंडर

(b) उबदार भिंतीचा ग्रह प्रकार

SiC कोटिंग प्लॅनेटरी डिस्क आणि TaC लेपित प्लॅनेटरी डिस्क

नुफ्लरे (जपान): ही कंपनी दुहेरी-चेंबर उभ्या भट्टी देते जे उत्पादन वाढीसाठी योगदान देते. उपकरणांमध्ये प्रति मिनिट 1000 क्रांती पर्यंत उच्च-गती रोटेशन वैशिष्ट्यीकृत आहे, जे एपिटॅक्सियल एकरूपतेसाठी अत्यंत फायदेशीर आहे. याव्यतिरिक्त, त्याची वायुप्रवाह दिशा इतर उपकरणांपेक्षा वेगळी आहे, अनुलंब खाली असल्याने, त्यामुळे कणांची निर्मिती कमी होते आणि कणांचे थेंब वेफर्सवर पडण्याची शक्यता कमी करते. आम्ही या उपकरणासाठी कोर SiC कोटेड ग्रेफाइट घटक प्रदान करतो.

SiC epitaxial उपकरणे घटकांचा पुरवठादार म्हणून, VeTek Semiconductor ग्राहकांना SiC epitaxy च्या यशस्वी अंमलबजावणीला समर्थन देण्यासाठी उच्च-गुणवत्तेचे कोटिंग घटक प्रदान करण्यासाठी वचनबद्ध आहे.

View as

उभ्या फर्नेस एसआयसी लेपित रिंग

अनुलंब फर्नेस एसआयसी लेपित रिंग एक घटक आहे जो अनुलंब भट्टीसाठी विशेषतः डिझाइन केलेला आहे. वेटेक सेमीकंडक्टर आपल्यासाठी साहित्य आणि उत्पादन प्रक्रियेच्या दोन्ही बाबतीत सर्वोत्कृष्ट प्रयत्न करू शकतात. चीनमधील उभ्या फर्नेस एसआयसी कोटेड रिंगचे अग्रगण्य निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून, वेटेक सेमीकंडक्टरला विश्वास आहे की आम्ही आपल्याला सर्वोत्कृष्ट उत्पादने आणि सेवा प्रदान करू शकतो.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

SiC लेपित वेफर वाहक

चीनमधील अग्रगण्य SiC कोटेड वेफर वाहक पुरवठादार आणि निर्माता म्हणून, VeTek सेमीकंडक्टरचे SiC कोटेड वेफर वाहक उच्च-गुणवत्तेचे ग्रेफाइट आणि CVD SiC कोटिंगचे बनलेले आहे, ज्यात सुपर स्थिरता आहे आणि बहुतेक एपिटॅक्सियल रिॲक्टर्समध्ये दीर्घकाळ काम करू शकते. VeTek सेमीकंडक्टरकडे उद्योग-अग्रणी प्रक्रिया क्षमता आहे आणि ते ग्राहकांच्या SiC कोटेड वेफर वाहकांसाठी विविध सानुकूलित आवश्यकता पूर्ण करू शकतात. VeTek Semiconductor तुमच्यासोबत दीर्घकालीन सहकारी संबंध प्रस्थापित करण्यासाठी आणि एकत्र वाढण्यास उत्सुक आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग एपिटॅक्सी स्यूससेप्टर

वेटेक सेमीकंडक्टरचे सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग एपिटॅक्सी सासेप्टर हे सेमीकंडक्टर वेफर हँडलिंग आणि प्रोसेसिंगसाठी डिझाइन केलेले एक अचूक-अभियंता साधन आहे. पातळ चित्रपट, एपिलेयर्स आणि इतर कोटिंग्जच्या वाढीस प्रोत्साहन देण्यासाठी हे एसआयसी कोटिंग एपिटॅक्सी सासेप्टर महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते आणि तापमान आणि भौतिक गुणधर्मांवर तंतोतंत नियंत्रण ठेवू शकते. आपल्या पुढील चौकशीचे स्वागत आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग रिंग

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग रिंग हाफमून भागातील एक महत्त्वाचा भाग आहे. इतर भागांसह, हे एसआयसी एपिटॅक्सियल ग्रोथ रिएक्शन चेंबर बनवते. वेटेक सेमीकंडक्टर एक व्यावसायिक सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग रिंग निर्माता आणि पुरवठादार आहे. ग्राहकांच्या डिझाइन आवश्यकतानुसार, आम्ही सर्वात स्पर्धात्मक किंमतीत संबंधित सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग रिंग प्रदान करू शकतो. वेटेक सेमीकंडक्टर चीनमधील आपला दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी उत्सुक आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

Sic कोटिंग हाफमून ग्रेफाइट भाग

एक व्यावसायिक सेमीकंडक्टर निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून, वेटेक सेमीकंडक्टर एसआयसी एपिटॅक्सियल ग्रोथ सिस्टमसाठी आवश्यक विविध प्रकारचे ग्रेफाइट घटक प्रदान करू शकतात. हे एसआयसी कोटिंग हाफमून ग्रेफाइट भाग एपिटॅक्सियल अणुभट्टीच्या गॅस इनलेट विभागासाठी डिझाइन केलेले आहेत आणि सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेस अनुकूलित करण्यात महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावतात. वेटेक सेमीकंडक्टर नेहमीच ग्राहकांना सर्वात स्पर्धात्मक किंमतींवर उत्कृष्ट दर्जाची उत्पादने प्रदान करण्यासाठी प्रयत्न करतात. वेटेक सेमीकंडक्टर चीनमधील आपला दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी उत्सुक आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

SiC लेपित वेफर होल्डर

VeTek सेमीकंडक्टर एक व्यावसायिक निर्माता आहे आणि चीनमधील SiC कोटेड वेफर होल्डर उत्पादनांचा नेता आहे. SiC कोटेड वेफर होल्डर सेमीकंडक्टर प्रक्रियेतील एपिटॅक्सी प्रक्रियेसाठी वेफर होल्डर आहे. हे एक अपरिवर्तनीय उपकरण आहे जे वेफरला स्थिर करते आणि एपिटॅक्सियल लेयरची एकसमान वाढ सुनिश्चित करते. तुमच्या पुढील सल्लामसलतीचे स्वागत आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

चीनमधील एक व्यावसायिक सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून आमच्याकडे आमचा स्वतःचा कारखाना आहे. आपल्या प्रदेशाच्या विशिष्ट गरजा भागविण्यासाठी आपल्याला सानुकूलित सेवांची आवश्यकता असल्यास किंवा चीनमध्ये बनविलेले प्रगत आणि टिकाऊ {77 brook खरेदी करायचे असल्यास आपण आम्हाला एक संदेश सोडू शकता.