सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी

उच्च-गुणवत्तेच्या सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सीची तयारी प्रगत तंत्रज्ञान आणि उपकरणे आणि उपकरणे उपकरणे यावर अवलंबून असते. सध्या, सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी ग्रोथ पद्धत सर्वात जास्त वापरली जाणारी रासायनिक वाष्प जमा करणे (CVD) आहे. यात एपिटॅक्सियल फिल्मची जाडी आणि डोपिंग एकाग्रता, कमी दोष, मध्यम वाढीचा दर, स्वयंचलित प्रक्रिया नियंत्रण इत्यादींचे अचूक नियंत्रण करण्याचे फायदे आहेत आणि हे एक विश्वासार्ह तंत्रज्ञान आहे जे यशस्वीरित्या व्यावसायिकरित्या लागू केले गेले आहे.

सिलिकॉन कार्बाइड सीव्हीडी एपिटॅक्सी सामान्यत: हॉट वॉल किंवा उबदार वॉल सीव्हीडी उपकरणे स्वीकारते, जे उच्च वाढ तापमान परिस्थितीत (1500 ~ 1700℃), गरम भिंत किंवा उबदार वॉल CVD च्या विकासाच्या वर्षांनंतर एपिटॅक्सी लेयर 4H क्रिस्टलीय SiC चालू ठेवण्याची खात्री देते. इनलेट एअर फ्लो दिशा आणि सब्सट्रेट पृष्ठभाग यांच्यातील संबंध, प्रतिक्रिया कक्ष क्षैतिज रचना अणुभट्टी आणि अनुलंब संरचना अणुभट्टीमध्ये विभागली जाऊ शकते.

एसआयसी एपिटॅक्सियल फर्नेसच्या गुणवत्तेसाठी तीन मुख्य निर्देशक आहेत, पहिले एपिटॅक्सियल वाढ कार्यप्रदर्शन आहे, ज्यामध्ये जाडी एकसमानता, डोपिंग एकसमानता, दोष दर आणि वाढीचा दर समाविष्ट आहे; दुसरे म्हणजे उपकरणांचे स्वतःचे तापमान कार्यप्रदर्शन, ज्यामध्ये हीटिंग/कूलिंग रेट, कमाल तापमान, तापमान एकसारखेपणा समाविष्ट आहे; शेवटी, एका युनिटची किंमत आणि क्षमता यासह उपकरणाची स्वतःची किंमत कामगिरी.

तीन प्रकारचे सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सियल ग्रोथ फर्नेस आणि कोर ॲक्सेसरीज फरक

हॉट वॉल क्षैतिज CVD (LPE कंपनीचे ठराविक मॉडेल PE1O6), उबदार वॉल प्लॅनेटरी CVD (नमुनेदार मॉडेल Aixtron G5WWC/G10) आणि अर्ध-हॉट वॉल CVD (नुफ्लेअर कंपनीच्या EPIREVOS6 द्वारे प्रस्तुत) ही मुख्य प्रवाहातील एपिटॅक्सियल उपकरणे आहेत जी वास्तविक आहेत. या टप्प्यावर व्यावसायिक अनुप्रयोगांमध्ये. तीन तांत्रिक उपकरणांची स्वतःची वैशिष्ट्ये देखील आहेत आणि मागणीनुसार निवडली जाऊ शकतात. त्यांची रचना खालीलप्रमाणे दर्शविली आहे:

संबंधित मुख्य घटक खालीलप्रमाणे आहेत:

(a) गरम भिंतीचा आडवा प्रकार कोर भाग- हाफमून पार्ट्स असतात

डाउनस्ट्रीम इन्सुलेशन

मुख्य इन्सुलेशन वरच्या

वरचा अर्धचंद्र

अपस्ट्रीम इन्सुलेशन

संक्रमण तुकडा 2

संक्रमण तुकडा 1

बाह्य हवा नोजल

टॅपर्ड स्नॉर्कल

बाह्य आर्गॉन गॅस नोजल

आर्गॉन गॅस नोजल

वेफर सपोर्ट प्लेट

मध्यभागी पिन

केंद्रीय रक्षक

डाउनस्ट्रीम डाव्या संरक्षण कव्हर

डाउनस्ट्रीम उजवे संरक्षण कव्हर

अपस्ट्रीम डाव्या संरक्षण कव्हर

अपस्ट्रीम उजव्या संरक्षण कव्हर

बाजूची भिंत

ग्रेफाइट रिंग

संरक्षक वाटले

आधार वाटला

संपर्क ब्लॉक

गॅस आउटलेट सिलेंडर

(b) उबदार भिंतीचा ग्रह प्रकार

SiC कोटिंग प्लॅनेटरी डिस्क आणि TaC लेपित प्लॅनेटरी डिस्क

नुफ्लरे (जपान): ही कंपनी दुहेरी-चेंबर उभ्या भट्टी देते जे उत्पादन वाढीसाठी योगदान देते. उपकरणांमध्ये प्रति मिनिट 1000 क्रांती पर्यंत उच्च-गती रोटेशन वैशिष्ट्यीकृत आहे, जे एपिटॅक्सियल एकरूपतेसाठी अत्यंत फायदेशीर आहे. याव्यतिरिक्त, त्याची वायुप्रवाह दिशा इतर उपकरणांपेक्षा वेगळी आहे, अनुलंब खाली असल्याने, त्यामुळे कणांची निर्मिती कमी होते आणि कणांचे थेंब वेफर्सवर पडण्याची शक्यता कमी करते. आम्ही या उपकरणासाठी कोर SiC कोटेड ग्रेफाइट घटक प्रदान करतो.

SiC epitaxial उपकरणे घटकांचा पुरवठादार म्हणून, VeTek Semiconductor ग्राहकांना SiC epitaxy च्या यशस्वी अंमलबजावणीला समर्थन देण्यासाठी उच्च-गुणवत्तेचे कोटिंग घटक प्रदान करण्यासाठी वचनबद्ध आहे.

View as

G5 साठी GaN एपिटॅक्सियल ग्रेफाइट रिसेप्टर

वेटेक सेमीकंडक्टर एक व्यावसायिक निर्माता आणि पुरवठादार आहे, जी जी 5 साठी उच्च-गुणवत्तेची जीएएन एपिटॅक्सियल ग्रेफाइट स्यूससेप्टर प्रदान करण्यासाठी समर्पित आहे. आम्ही आमच्या ग्राहकांचा विश्वास आणि आदर मिळवून देश-विदेशात असंख्य सुप्रसिद्ध कंपन्यांसह दीर्घकालीन आणि स्थिर भागीदारी स्थापित केली आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

अल्ट्रा शुद्ध ग्रेफाइट लोअर हाफमून

वेटेक सेमीकंडक्टर चीनमध्ये सानुकूलित अल्ट्रा शुद्ध ग्रेफाइट लोअर हाफमूनचा अग्रगण्य पुरवठादार आहे, जो बर्‍याच वर्षांपासून प्रगत सामग्रीमध्ये तज्ञ आहे. आमचा अल्ट्रा शुद्ध ग्रेफाइट लोअर हाफमून विशेषत: एसआयसी एपिटॅक्सियल उपकरणांसाठी डिझाइन केलेला आहे, उत्कृष्ट कामगिरी सुनिश्चित करते. अल्ट्रा-शुद्ध आयातित ग्रेफाइटपासून बनविलेले, हे विश्वसनीयता आणि टिकाऊपणा देते. आमच्या उच्च-गुणवत्तेच्या अल्ट्रा शुद्ध ग्रेफाइट लोअर हाफमून फर्स्टँडचा शोध घेण्यासाठी चीनमधील आमच्या कारखान्यास भेट द्या. कोणत्याही वेळी सल्लामसलत करण्यासाठी.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

अप्पर हाफमून पार्ट एसआयसी लेपित

वेटेक सेमीकंडक्टर चीनमध्ये लेपित सानुकूलित अप्पर हाफमून पार्ट एसआयसीचा अग्रगण्य पुरवठादार आहे, जो 20 वर्षांहून अधिक काळ प्रगत सामग्रीमध्ये तज्ञ आहे. वेटेक सेमीकंडक्टर अप्पर हाफमून पार्ट एसआयसी कोटेड विशेषतः एसआयसी एपिटॅक्सियल उपकरणांसाठी डिझाइन केलेले आहे, जे प्रतिक्रिया चेंबरमध्ये महत्त्वपूर्ण घटक म्हणून काम करते. अल्ट्रा-प्युर, सेमीकंडक्टर-ग्रेड ग्रेफाइटपासून बनविलेले, ते उत्कृष्ट कामगिरी सुनिश्चित करते. आम्ही आपल्याला चीनमधील आमच्या कारखान्यात भेट देण्यासाठी आमंत्रित करतो. कोणत्याही वेळी सल्लामसलत करण्यासाठी.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

सिलिकॉन कार्बाईड एपिटॅक्सी वेफर कॅरियर

वेटेक सेमीकंडक्टर चीनमधील एक अग्रगण्य सानुकूलित सिलिकॉन कार्बाईड एपीटॅक्सी वेफर कॅरियर पुरवठादार आहे. आम्ही 20 वर्षांहून अधिक प्रगत सामग्रीमध्ये विशेष केले आहे. आम्ही एसआयसी एपिटॅक्सी रिएक्टोरमध्ये एसआयसी एपिटॅक्सी लेयर वाढविण्यासाठी सिलिकॉन कार्बाईड एपिटॅक्सी वेफर कॅरियर ऑफर करतो. हा सिलिकॉन कार्बाईड एपिटॅक्सी वेफर कॅरियर हाफमून भाग, उच्च तापमान प्रतिरोध, ऑक्सिडेशन प्रतिरोध, पोशाख प्रतिकार यांचा एक महत्त्वाचा एसआयसी लेपित भाग आहे. चीनमधील आमच्या कारखान्यात भेट देण्यासाठी आम्ही आपले स्वागत करतो. कोणत्याही वेळी सल्लामसलत करण्यासाठी.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

LPE अणुभट्टीसाठी 8 इंच हाफमून भाग

VeTek Semiconductor ही चीनमधील अग्रगण्य सेमीकंडक्टर उपकरणे उत्पादक कंपनी आहे, जी R&D वर लक्ष केंद्रित करते आणि LPE अणुभट्टीसाठी 8 इंच हाफमून पार्टचे उत्पादन करते. आम्ही गेल्या काही वर्षांपासून समृद्ध अनुभव जमा केला आहे, विशेषत: SiC कोटिंग मटेरियलमध्ये, आणि LPE एपिटॅक्सियल रिॲक्टर्ससाठी तयार केलेली कार्यक्षम समाधाने प्रदान करण्यासाठी आम्ही वचनबद्ध आहोत. एलपीई अणुभट्टीसाठी आमचा 8 इंच हाफमून पार्ट उत्कृष्ट कार्यप्रदर्शन आणि सुसंगतता आहे आणि एपिटॅक्सियल मॅन्युफॅक्चरिंगमधील एक अपरिहार्य मुख्य घटक आहे. आमच्या उत्पादनांबद्दल अधिक जाणून घेण्यासाठी आपल्या चौकशीचे स्वागत आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

चीनमधील एक व्यावसायिक सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून आमच्याकडे आमचा स्वतःचा कारखाना आहे. आपल्या प्रदेशाच्या विशिष्ट गरजा भागविण्यासाठी आपल्याला सानुकूलित सेवांची आवश्यकता असल्यास किंवा चीनमध्ये बनविलेले प्रगत आणि टिकाऊ {77 brook खरेदी करायचे असल्यास आपण आम्हाला एक संदेश सोडू शकता.