सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी

उच्च-गुणवत्तेच्या सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सीची तयारी प्रगत तंत्रज्ञान आणि उपकरणे आणि उपकरणे उपकरणे यावर अवलंबून असते. सध्या, सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी ग्रोथ पद्धत सर्वात जास्त वापरली जाणारी रासायनिक वाष्प जमा करणे (CVD) आहे. यात एपिटॅक्सियल फिल्मची जाडी आणि डोपिंग एकाग्रता, कमी दोष, मध्यम वाढीचा दर, स्वयंचलित प्रक्रिया नियंत्रण इत्यादींचे अचूक नियंत्रण करण्याचे फायदे आहेत आणि हे एक विश्वासार्ह तंत्रज्ञान आहे जे यशस्वीरित्या व्यावसायिकरित्या लागू केले गेले आहे.

सिलिकॉन कार्बाइड सीव्हीडी एपिटॅक्सी सामान्यत: हॉट वॉल किंवा उबदार वॉल सीव्हीडी उपकरणे स्वीकारते, जे उच्च वाढ तापमान परिस्थितीत (1500 ~ 1700℃), गरम भिंत किंवा उबदार वॉल CVD च्या विकासाच्या वर्षांनंतर एपिटॅक्सी लेयर 4H क्रिस्टलीय SiC चालू ठेवण्याची खात्री देते. इनलेट एअर फ्लो दिशा आणि सब्सट्रेट पृष्ठभाग यांच्यातील संबंध, प्रतिक्रिया कक्ष क्षैतिज रचना अणुभट्टी आणि अनुलंब संरचना अणुभट्टीमध्ये विभागली जाऊ शकते.

एसआयसी एपिटॅक्सियल फर्नेसच्या गुणवत्तेसाठी तीन मुख्य निर्देशक आहेत, पहिले एपिटॅक्सियल वाढ कार्यप्रदर्शन आहे, ज्यामध्ये जाडी एकसमानता, डोपिंग एकसमानता, दोष दर आणि वाढीचा दर समाविष्ट आहे; दुसरे म्हणजे उपकरणांचे स्वतःचे तापमान कार्यप्रदर्शन, ज्यामध्ये हीटिंग/कूलिंग रेट, कमाल तापमान, तापमान एकसारखेपणा समाविष्ट आहे; शेवटी, एका युनिटची किंमत आणि क्षमता यासह उपकरणाची स्वतःची किंमत कामगिरी.

तीन प्रकारचे सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सियल ग्रोथ फर्नेस आणि कोर ॲक्सेसरीज फरक

हॉट वॉल क्षैतिज CVD (LPE कंपनीचे ठराविक मॉडेल PE1O6), उबदार वॉल प्लॅनेटरी CVD (नमुनेदार मॉडेल Aixtron G5WWC/G10) आणि अर्ध-हॉट वॉल CVD (नुफ्लेअर कंपनीच्या EPIREVOS6 द्वारे प्रस्तुत) ही मुख्य प्रवाहातील एपिटॅक्सियल उपकरणे आहेत जी वास्तविक आहेत. या टप्प्यावर व्यावसायिक अनुप्रयोगांमध्ये. तीन तांत्रिक उपकरणांची स्वतःची वैशिष्ट्ये देखील आहेत आणि मागणीनुसार निवडली जाऊ शकतात. त्यांची रचना खालीलप्रमाणे दर्शविली आहे:

संबंधित मुख्य घटक खालीलप्रमाणे आहेत:

(a) गरम भिंतीचा आडवा प्रकार कोर भाग- हाफमून पार्ट्स असतात

डाउनस्ट्रीम इन्सुलेशन

मुख्य इन्सुलेशन वरच्या

वरचा अर्धचंद्र

अपस्ट्रीम इन्सुलेशन

संक्रमण तुकडा 2

संक्रमण तुकडा 1

बाह्य हवा नोजल

टॅपर्ड स्नॉर्कल

बाह्य आर्गॉन गॅस नोजल

आर्गॉन गॅस नोजल

वेफर सपोर्ट प्लेट

मध्यभागी पिन

केंद्रीय रक्षक

डाउनस्ट्रीम डाव्या संरक्षण कव्हर

डाउनस्ट्रीम उजवे संरक्षण कव्हर

अपस्ट्रीम डाव्या संरक्षण कव्हर

अपस्ट्रीम उजव्या संरक्षण कव्हर

बाजूची भिंत

ग्रेफाइट रिंग

संरक्षक वाटले

आधार वाटला

संपर्क ब्लॉक

गॅस आउटलेट सिलेंडर

(b) उबदार भिंतीचा ग्रह प्रकार

SiC कोटिंग प्लॅनेटरी डिस्क आणि TaC लेपित प्लॅनेटरी डिस्क

नुफ्लरे (जपान): ही कंपनी दुहेरी-चेंबर उभ्या भट्टी देते जे उत्पादन वाढीसाठी योगदान देते. उपकरणांमध्ये प्रति मिनिट 1000 क्रांती पर्यंत उच्च-गती रोटेशन वैशिष्ट्यीकृत आहे, जे एपिटॅक्सियल एकरूपतेसाठी अत्यंत फायदेशीर आहे. याव्यतिरिक्त, त्याची वायुप्रवाह दिशा इतर उपकरणांपेक्षा वेगळी आहे, अनुलंब खाली असल्याने, त्यामुळे कणांची निर्मिती कमी होते आणि कणांचे थेंब वेफर्सवर पडण्याची शक्यता कमी करते. आम्ही या उपकरणासाठी कोर SiC कोटेड ग्रेफाइट घटक प्रदान करतो.

SiC epitaxial उपकरणे घटकांचा पुरवठादार म्हणून, VeTek Semiconductor ग्राहकांना SiC epitaxy च्या यशस्वी अंमलबजावणीला समर्थन देण्यासाठी उच्च-गुणवत्तेचे कोटिंग घटक प्रदान करण्यासाठी वचनबद्ध आहे.

View as

एपीआय वेफर धारक

वेटेक सेमीकंडक्टर चीनमधील एक व्यावसायिक ईपीआय वेफर धारक निर्माता आणि कारखाना आहे. एपीआय वेफर होल्डर सेमीकंडक्टर प्रक्रियेतील एपिटॅक्सी प्रक्रियेसाठी वेफर धारक आहे. वेफर स्थिर करणे आणि एपिटॅक्सियल लेयरची एकसमान वाढ सुनिश्चित करणे हे एक महत्त्वाचे साधन आहे. हे एमओसीव्हीडी आणि एलपीसीव्हीडी सारख्या एपिटॅक्सी उपकरणांमध्ये मोठ्या प्रमाणात वापरले जाते. हे एपिटॅक्सी प्रक्रियेतील एक अपरिवर्तनीय डिव्हाइस आहे. आपल्या पुढील सल्ल्याचे स्वागत आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

आयक्सट्रॉन उपग्रह वेफर कॅरियर

वेटेक सेमीकंडक्टरचा ixttron उपग्रह वेफर कॅरियर एक वेफर कॅरियर आहे जो आयएक्सट्रॉन उपकरणांमध्ये वापरला जातो, जो प्रामुख्याने एमओसीव्हीडी प्रक्रियेमध्ये वापरला जातो आणि विशेषत: उच्च-तापमान आणि उच्च-परिशुद्धता सेमीकंडक्टर प्रक्रिया प्रक्रियेसाठी योग्य आहे. कॅरियर एमओसीव्हीडी एपिटॅक्सियल ग्रोथ दरम्यान स्थिर वेफर समर्थन आणि एकसमान फिल्म जमा करू शकतो, जो लेयर जमा प्रक्रियेसाठी आवश्यक आहे. आपल्या पुढील सल्ल्याचे स्वागत आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

एलपीई हाफमून एसआयसी एपीआय अणुभट्टी

वेटेक सेमीकंडक्टर एक व्यावसायिक एलपीई हाफमून एसआयसी ईपीआय अणुभट्टी उत्पादन उत्पादक, चीनमधील इनोव्हेटर आणि नेता आहे. एलपीई हाफमून एसआयसी एपीआय अणुभट्टी हे विशेषत: सेमीकंडक्टर उद्योगात वापरल्या जाणार्‍या उच्च-गुणवत्तेच्या सिलिकॉन कार्बाइड (एसआयसी) एपिटॅक्सियल थर तयार करण्यासाठी डिझाइन केलेले एक डिव्हाइस आहे. आपल्या पुढील चौकशीत आपले स्वागत आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

सीव्हीडी एसआयसी लेपित कमाल मर्यादा

वेटेक सेमीकंडक्टरच्या सीव्हीडी एसआयसी लेपित कमाल मर्यादेमध्ये उच्च तापमान प्रतिरोध, गंज प्रतिरोध, उच्च कडकपणा आणि कमी थर्मल एक्सपेंशन गुणांक यासारख्या उत्कृष्ट गुणधर्म आहेत, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये एक आदर्श भौतिक निवड आहे. चीनचे अग्रगण्य सीव्हीडी एसआयसी लेपित कमाल मर्यादा निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून, वेटेक सेमीकंडक्टर आपल्या सल्ल्याची अपेक्षा करतो.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

सीव्हीडी एसआयसी ग्रेफाइट सिलेंडर

वेटेक सेमीकंडक्टरचे सीव्हीडी एसआयसी ग्रॅफाइट सिलेंडर सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये महत्त्वपूर्ण आहे, उच्च तापमान आणि दबाव सेटिंग्जमध्ये अंतर्गत घटकांचे रक्षण करण्यासाठी अणुभट्ट्यांमध्ये संरक्षणात्मक ढाल म्हणून काम करते. हे रसायने आणि अति उष्णतेविरूद्ध प्रभावीपणे ढाल करते, उपकरणांची अखंडता जतन करते. अपवादात्मक पोशाख आणि गंज प्रतिरोधकासह, हे आव्हानात्मक वातावरणात दीर्घायुष्य आणि स्थिरता सुनिश्चित करते. या कव्हर्सचा वापर केल्याने सेमीकंडक्टर डिव्हाइसची कार्यक्षमता वाढते, आयुष्य वाढवते आणि देखभाल आवश्यकता कमी करते आणि नुकसान जोखीम कमी करते. आम्हाला चौकशी करण्यासाठी.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग नोजल

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग दरम्यान सिलिकॉन कार्बाईड मटेरियल जमा करण्यासाठी एलपीई एसआयसी एपिटॅक्सी प्रक्रियेमध्ये सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग नोजल हे महत्त्वपूर्ण घटक आहेत. कठोर प्रक्रिया वातावरणात स्थिरता सुनिश्चित करण्यासाठी हे नोजल सामान्यत: उच्च-तापमान आणि रासायनिक स्थिर सिलिकॉन कार्बाइड सामग्रीचे बनलेले असतात. एकसमान जमा करण्यासाठी डिझाइन केलेले, ते सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगांमध्ये वाढलेल्या एपिटॅक्सियल थरांची गुणवत्ता आणि एकसारखेपणा नियंत्रित करण्यात महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावतात. आपल्या पुढील चौकशीचे स्वागत आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

चीनमधील एक व्यावसायिक सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून आमच्याकडे आमचा स्वतःचा कारखाना आहे. आपल्या प्रदेशाच्या विशिष्ट गरजा भागविण्यासाठी आपल्याला सानुकूलित सेवांची आवश्यकता असल्यास किंवा चीनमध्ये बनविलेले प्रगत आणि टिकाऊ {77 brook खरेदी करायचे असल्यास आपण आम्हाला एक संदेश सोडू शकता.