बातम्या

सेमीकंडक्टर उच्च-तापमान प्रक्रियेमध्ये, वेफर्सची हाताळणी, समर्थन आणि थर्मल उपचार एका विशेष सपोर्टिंग घटकावर-वेफर बोटवर अवलंबून असतात. प्रक्रिया तापमान वाढते आणि स्वच्छता आणि कण नियंत्रण आवश्यकता वाढत असताना, पारंपारिक क्वार्ट्ज वेफर बोट्स हळूहळू कमी सेवा आयुष्य, उच्च विकृती दर आणि खराब गंज प्रतिकार यासारख्या समस्या प्रकट करतात.

सिलिकॉन कार्बाइड सब्सट्रेट्सच्या औद्योगिक स्तरावरील उत्पादनासाठी, एकल वाढीचे यश हे अंतिम ध्येय नाही. विविध बॅच, टूल्स आणि कालखंडात उगवलेले क्रिस्टल्स गुणवत्तेमध्ये उच्च पातळीचे सातत्य आणि पुनरावृत्तीक्षमता राखतात याची खात्री करणे हे खरे आव्हान आहे. या संदर्भात, टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंगची भूमिका मूलभूत संरक्षणाच्या पलीकडे जाते - प्रक्रिया विंडो स्थिर करण्यासाठी आणि उत्पादनाच्या उत्पन्नाचे रक्षण करण्यासाठी हा एक महत्त्वाचा घटक बनतो.

सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) PVT वाढीमध्ये गंभीर थर्मल सायकलिंग (खोलीचे तापमान 2200 ℃ पेक्षा जास्त) समाविष्ट असते. कोटिंग आणि ग्रेफाइट सब्सट्रेट यांच्यामध्ये थर्मल एक्सपेन्शन (CTE) च्या गुणांकांमध्ये जुळत नसल्यामुळे निर्माण होणारा प्रचंड थर्मल स्ट्रेस हे कोटिंगचे आयुष्यमान आणि अनुप्रयोगाची विश्वासार्हता ठरवणारे मुख्य आव्हान आहे.

सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) PVT क्रिस्टल वाढीच्या प्रक्रियेत, थर्मल फील्डची स्थिरता आणि एकसमानता थेट क्रिस्टल वाढीचा दर, दोष घनता आणि सामग्रीची एकरूपता निर्धारित करते. सिस्टीमची सीमा म्हणून, थर्मल-फील्ड घटक पृष्ठभागावरील थर्मोफिजिकल गुणधर्म प्रदर्शित करतात ज्यांचे थोडेसे चढउतार उच्च-तापमानाच्या परिस्थितीत नाटकीयरित्या वाढवले ​​जातात, ज्यामुळे शेवटी वाढीच्या इंटरफेसमध्ये अस्थिरता येते.

फिजिकल व्हेपर ट्रान्सपोर्ट (PVT) पद्धतीद्वारे सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) क्रिस्टल्स वाढवण्याच्या प्रक्रियेत, 2000-2500 °C चे अत्यंत उच्च तापमान ही एक “दुधारी तलवार” आहे — जेव्हा ते स्त्रोत सामग्रीचे उदात्तीकरण आणि वाहतूक करते, तेव्हा ते सर्व भौतिक घटकांच्या अशुद्धतेपासून, विशेषत: धातूच्या क्षेत्राच्या सर्व घटकांपासून नाटकीयपणे तीव्र करते. पारंपारिक ग्रेफाइट हॉट-झोन घटकांमध्ये समाविष्ट आहे. एकदा या अशुद्धता वाढीच्या इंटरफेसमध्ये प्रवेश केल्यावर, ते थेट क्रिस्टलच्या मुख्य गुणवत्तेचे नुकसान करतात. टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स PVT ​​क्रिस्टल वाढीसाठी "पर्यायी निवड" ऐवजी "अनिवार्य पर्याय" बनण्याचे हे मूलभूत कारण आहे.

Veteksemicon वर, आम्ही या आव्हानांना दररोज नेव्हिगेट करतो, प्रगत ॲल्युमिनियम ऑक्साईड सिरॅमिक्सचे अचूक वैशिष्ट्य पूर्ण करणाऱ्या सोल्यूशन्समध्ये रूपांतरित करण्यात विशेषज्ञ आहोत. योग्य मशीनिंग आणि प्रक्रिया पद्धती समजून घेणे महत्वाचे आहे, कारण चुकीच्या पद्धतीमुळे महाग कचरा आणि घटक अपयशी ठरू शकतात. हे शक्य करणाऱ्या व्यावसायिक तंत्रांचा शोध घेऊया.